<마이크로파 전송 시스템 제작>

2026. 7. 5.

<에너지나노그룹>

<한국생산기술연구원>

<담당><사양 ><에너지나노그룹><김순호><TEL: 010-4604-7902><입찰 및 계약><구매자산실><담당자><TEL: 041-589-8557>

1. 품명 : 마이크로파 전송 시스템 제작

2. 수량 : 1 식

3. 특성 및 용도

본 제작품은 MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 공정에서 고밀도 마이크로파 플라즈마를 안정적으로 발생시키기 위하여, 2.45 GHz 대역의 마이크로파를 발생·정합·전송하는 통합 시스템임

마이크로파 발생 및 전원부(전력계측부 및 안전 인터록 포함), 자동정합기(Autotuner), 도파관(WR340) 및 수냉식 아이솔레이터를 통합하여 제작함- 마이크로파 발생 및 전원부(전력계측부 및 안전 인터록 포함): 최대 6 kW급 마이크로파를 발생시키고 출력을 제어하는 부분으로, 입사전력 및 반사전력을 측정하는 전력계측 기능과 과전류, 과전압, 과열, 냉각 이상 및 반사전력 이상 발생 시 출력을 제한하거나 차단하는 안전 인터록 기능을 포함함- 자동정합기(Autotuner): 발생되는 마이크로파의 부하 임피던스 변동에 대응하여 마이크로파 전송조건을 자동으로 조절하고 반사전력을 최소화하는 부분임- 도파관(Waveguide): 마이크로파 발생부에서 생성된 마이크로파를 자동정합기를 거쳐 MPCVD 반응기까지 전달하는 전송부로, 장비의 설치 위치와 연결조건에 적합하도록 길이, 연결방향, 플랜지 및 지지구조를 설계·제작함- 수냉식 아이솔레이터: 시스템의 출력시험 및 보호운전 과정에서 전달되는 마이크로파 에너지를 흡수하는 수냉식 부하장치로, 고출력 마이크로파를 안전하게 처리함

각 구성부는 독립적으로 납품하는 것이 아닌, 하나의 시스템으로 조립·연결하고, 출력제어, 자동정합, 전력계측, 마이크로파 전송, 부하흡수 및 안전보호 기능이 상호 연동되도록 제작함