과 업 지 시 서

고분해능 이차이온질량분석기 전면 수리 과업 지시서

*적용장비 : SHRIMP (HR-SIMS)

2026. 6.

한 국 기 초 과 학 지 원 연 구 원

목 적

가. 한국기초과학지원연구원의 지구환경연구부가 운영하고 있는 주장비인 SHRIMP(HR-SIMS)의 정상 운영을 위해 해당 장비를 체계적으로 보수함으로써 장애발생 및 문제가 야기될 수 있는 사항을 구체화하여 연구시설의 활용 최적화하려 함

나. SHRIMP IIe의 일차이온빔 클리닝 및 align과 이차이온빔 점검을 통한 성능향상과 현재 발생하고 있는 노이즈를 해결을 하고자 함

2. 개 요

가. 건 명 : SHRIMP(HR-SIMS) 보수

나. 위 치 : 충북 청원군 오창읍 연구단지로 162 202동

다. 사업기간 : 8월 20일 이내

라. 대상시설물 : 한국기초과학지원연구원 오창센터 슈림프동 111호 SHRIMP

3. 보수 범위

가. SHRIMP IIe operation and maintenance service

○ 장비상태 점검 및 수리/교체 (7~10일 소요)

○ Retuning of instrument:

- Optimising beam alignment

- RHVC tower 점검

HV power supply 점검 및 교체

Primary beam setting

○ Primary column cleaning

Primary column 분해 전 점검, 분해, cleaning, 조립, test

Differential pumping aperture 교체

Duoplasmatron part (cathod, cathod aperture, anode plate, orfice aperture, intermediate aperture) 점검 및 교체

- Primary Ion beam background 점검

- Oxygen gas 점검

- Duoplasmatron pressure gauge 설치 및 calibration

- Adjusting optical