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<다이아몬드 전력반도체 패키지용 CW 레이저 접합 시스템 제작>

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2026. 06.

<목적기반모빌리티그룹>

<한국생산기술연구원>

<담당><사양 및 과업><목적기반모빌리티그룹><구민모><TEL: 063-600-6230><입찰 및 계약><구매자산실><문형준><TEL : 041-589-8530>

<I>< >< 규격 개요 >

1. 납품요구 기간

○ 계약 후 2026년 10월 30일(금) 까지

2. 특성 및 용도

○ 본 제작 건은 다이아몬드 전력반도체 패키지용 CW 레이저 접합 시스템 제작을 위한 건으로, 2kW급 CW Fiber Laser를 기반으로 다이아몬드 전력반도체 패키지의 고정밀 레이저 접합 공정을 수행하는 것을 목적으로 함.

○ 본 제작품은 연속파 레이저를 안정적인 열원으로 사용하여 접합부에 균일한 에너지를 공급하고, 다이아몬드 기판 및 전력반도체 패키지 구조에 요구되는 접합 품질, 열적 안정성 및 공정 재현성을 확보할 수 있도록 구성되어야 함.

○ 본 제작품은 레이저 출력, 조사 시간, 빔 위치, 접합 조건 및 안전 인터락을 통합 제어하여 반복 생산 및 연구개발 공정에 적합한 정밀 접합 환경을 구현할 수 있어야 함.

○ 본 제작품은 다이아몬드 전력반도체 패키지 접합, 금속층·전극층·패키지 구조물의 국부 가열 접합, 고열전도 기판 기반 패키지의 레이저 열접합 및 연구개발용 반복 공정 조건 도출에 활용됨.

○ 본 제작품은 접합 품질의 균일화와 공정 안정성 향상을 실현할 수 있도록 구성되어야 하며, 접합 대상 소재 및 접합층 조건에 따라 레이저 출력과 공정 조건을 설정할 수 있어야 함.

3. 주요 구성품

○ 본 제작품은 다이아몬드 전력반도체 패키지의 고정밀 레이저 접합 공정을 위한 시스템으로, 레이저 발진기, 레이저 접합 헤드, 광케이블, 접합 지그, 제어 시스템, 안전 인터락 시스템, 보호 장비 및 기본 소모품 등으로 구성됨.

○ 레이저 발진기 구성품

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