국 문 규 격 서

COMMODITY DESCRIPTION

<품목번호 Item No.><세부품명번호(10자리) Korean Government Commodity Classification Code(ten-digit)><품 명 Description><단위 Unit><수량 Q'ty>

<1><2399039801><직진성 강화 4인치 마그네트론 스퍼터링 시스템><System><1>

Ⅰ. 용도(End-user's Use)

고진공 챔버와 3개의 마그네트론 건을 활용하여 4인치 웨이퍼에 금속 및 산화물 박막을 형성하는 장비로, 다중 전원을 통한 Co-Sputtering이 가능하여 수 ㎚에서 수 ㎛두께의 합금 및 다성분계 박막을 정밀하게 증착할 수 있다.

Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

<1. 주장비 및 보조장비(악세사리 포함)><><1세트>

<1) MainChamber><><1set>

< - Stainless Steel 304><><>

< - Circulator Type><><>

< - Water Wall Cooling><><>

<2) Main Pumping Module><><1set>

< - Rotary Pump 600L/m 이상><><1ea>

< - Turbo Molecular Pump 800l/s 이상><><1ea>

< - Throttle Valve / Main Valve><><1set>

<3) Main Gauge><><1set>

< - Pirani (Atmosphere~10-3torr)><><2ea>

< - Cold Cathode (10-2~ 10-9torr)><><1ea>

< - Baratron (0.1 torr)><><1ea>

<4) Substrate Module><><1set>

< - Rotation Unit (Max. 20RPM)><><>

< - Heating Unit (Max. 500℃ on Heater)><><>

< - Z-Motion Unit (≤ 80mm T/S Distance)><>