[별지 제3호 서식]<개정 2013.05.14.,2019.07.04.>

<상 세 규 격 서>

<><><>

<요구 번호 :><><>

<품 명><국 문 :><근적외선·가시광·자외선 분광 타원편광기><영 문 :><NIR-vis-UV Spectroscopic Ellipsometry>

<구 분><상 세 명 세><수 량><비 고>

< 1. Feature><자외선-근적외선 영역에서 박막 두께 및 광학상수(복소굴절률, 복소유전율)를 고정밀 측정하는 회전 보상자(Rotating Compensator, RCE) 방식의 분광 타원편광기. 어레이 검출기 분광법으로 수백 개 파장의 타원편광 데이터를 빠르게 동시 취득하며, 반도체 소재, 광학 코팅, 유전체·흡수 박막, 다층박막 및 이방성 물질의 연구개발에 적합한 장비. (*사전에 담당자(김소연 조교수, soyeunk@dgist.ac.kr)와 자세한 사양, 크기, 커스텀 셋업(저온챔버·디바이스)과의 호환성 등이 반드시 선논의되어야 함.)><><>

< 2. Specification><><><>

< ① Main System><- 파장 범위: 193 – 1000 nm (약 500개 파장 동시 측정, 표준) - 검출기: UV-VIS CCD 어레이 + NIR InGaAs 포토다이오드 어레이 - 측정 시간: 전영역 스펙트럼 데이터 취득 속도 20 Hz 이상 - 분광 분해능: UV-VIS 1.6 nm / NIR 3.4 nm - 타원편광 데이터 범위: Ψ 0 – 90°, Δ 0 – 360° - 정확도(95%): Ψ 45° ± 0.075°, Δ 0° ± 0.05° - 반복정밀도(typical): Ψ ±0.15°, Δ ±0.15° - 두께 반복정밀도: δthickness < 0.002 nm (Si 위 2 nm native SiO2 기준) - 입사각: 20 – 90° 자동 제어, 각도 정확도 ±0.02°, 각도 반복정밀도 < 0.005° - 측정 가능 시료 두께: 15 mm 이상 - 광원: 중수소(Deuterium) 램프(UV) + 텅스텐-할로겐 램프(VIS>