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< 과 업 지 시 서 반도체용 자외선 광학소재·부품 제조기술 특허 분석반도체용 자외선 광학 부품 및 코팅 가공 및 코팅 기술 특허 분석나노구조코팅 기술 특허분석마이크로LED용 고효율 고신뢰성 무기발광 색변환 소재 기술 특허 전략 수립 >

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20246. 0178.

< 한국광기술원 Korea Photonics Technology Institute>

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목 차

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Ⅰ. 사업안내

1. 사업개요 03

2. 추진배경 03

3. 과업범위 03

Ⅱ. 과업세부내용

1. 내용 03

Ⅲ. 과업 수행방법

1. 과업수행에 관한 일반적인 사항 05

2. 과업수행 준수사항 05

3. 보고회 개최 06

4. 검사 및 검수 06

Ⅳ. 제안 안내

1. 입찰 자격 요건 07

<Ⅰ ><>< 사업안내>

1. 사업의 개요

○ 사 업 명 : 반도체용 극자외선 노광장비용 광학소재부품 플랫폼 구축 사업 나기획노 구조 코팅 기술 및 응용부품 연구마이크로LED용 고효율 고신뢰성 무기발광 색변환 소재 기술 특허 전략 수립

○ 사업기간 : 착수일로부터 3021일용역계약 착수일로부터 2개월

○ 소요예산 : 510백만원19,500천원(부가가치세 포함)

○

용역업체 업종코드(업종명): 4501(변리사업(변리사사무소))

2. 추진배경

○ 현재 반도체공정 심화에 따라 기존 365nm, 266nm 광원이 아닌 195nm 광원을 이용한 광학계 적용 노광장비 요구가 증대되고 있음

○ 193nm 레이저 광원적용 반도체용 극자외선 노광장비용 광학소재부품은 반사 광학계 자외선 소재부품으로 해외 의존도가 매우 높음

○ 반도체 공정과 같은 극한환경에서 사용 가능한 광학소재부품의 경우 극저 열팽창 계수를 가져야 하며 특히 이러한 환경에 대한 내구성을 가진 부품의 필요성이 확대되어감에 따라 새로운 글로벌 제조사 특허동향 조사가