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<다중모드 공진 반응기 챔버 제작>

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2026. 7.24.

<에너지나노그룹>

<한국생산기술연구원>

<담당><사양 ><에너지나노그룹><김순호><TEL: 010-4604-7902><입찰 및 계약><구매자산실><000><TEL: 041-589-8530>

<I>< >< 규격 개요 >

1. 품명 : 다중모드 공진 반응기 챔버 제작

2. 수량 : 1 식

3. 특성 및 용도

본 제작품은 2.45 GHz 다중모드 MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 장비에서 마이크로파 공진공간을 형성하고, 석영 벨자 내부에 고밀도 플라즈마를 안정적으로 발생·유지하기 위한 반응기 챔버 통합 제작품임.

제작 범위는 캐비티 챔버(Cavity chamber), 비접촉식 고온계(Pyrometer), 석영 벨자(Bell jar) 및 상부 마이크로웨이브 가이드 플런저(Top MW guide plunger)로 구성되며, 각 구성품은 기계적·열적·전자기적으로 상호 호환되도록 설계·제작·조립하여야 함.

캐비티 챔버는 수냉식 원통형 공진 구조로 제작하고, 벨자 장착부, 관측·온도측정 창, 배기 연결부 및 가이드 플런저 연결부를 포함하여 향후 진공·기판 모듈과 연동 가능한 구조로 제작함.

고온계는 벨자 내부 기판 또는 공정 대상의 온도를 비접촉 방식으로 측정하고, 가이드 플런저는 안테나의 상하 위치를 자동 조절하여 공진조건과 전계분포를 조정하는 용도로 사용함.

4. 규격

<구분><요구 규격>

<시스템 형식><2.45 GHz 다중모드 공진형 MPCVD 반응기 챔버 통합 제작품>

<포함 범위><① 캐비티 챔버 1식 ② 고온계 2세트 ③ 석영 벨자 1세트 ④ 상부 마이크로웨이브 가이드 플런저 1세트 ⑤ CST 해석결과 및 도면 ⑥ 납품실적>

<운전 주파수><2.45 GHz 대역>

<설계 방식><CST 전자기장 해석 결과와 발주기관 승인 도면을 반영한 주문 제작>

<납품 형태><제작·조립·현장설치·시운전 및 제출서류가 완료>