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<플라즈마 기반 반도체 공정가스 저감장치 제작>

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2026. 08.

<지속가능기술연구소>

<한국생산기술연구원>

<담당><사양 ><지속가능기술연구소 지역산업혁신부문(배출저감)><이용운><TEL: 041-589-8457><입찰 및 계약><구매자산실><담당자><TEL: 041-589-8557>

<I>< >< 규격 개요 >

1. 품명 : Plasma & Wet Type P.O.U (Point Of Use) Scrubber

2. 수량 : 1 EA

3. 특성 및 용도

ㅇ 본 과업은 반도체, 디스플레이, 화학 및 첨단소재 제조공정에서 발생하는 유해가스 및 온실가스의 안전한 처리를 위한 SCR(Scrubber) 제작과 관련한 것으로, 최종적으로 생산설비의 배기라인(Exhaust Line)에 설치되어 공정에서 배출되는 독성가스, 부식성가스 및 온실가스를 처리함으로써 작업환경의 안전성을 확보하고 대기오염물질의 배출을 저감하는 기능을 수행함.

ㅇ 또한 공정별 배출가스 특성에 따라 열분해, 산화, 중화 및 흡수 등의 처리기술을 적용하여 유해 부산물의 발생을 최소화하고, 관련 환경규제 및 안전기준을 만족할 수 있도록 안정적인 배기가스 처리 성능을 제공함.

ㅇ 장비 운전상태 및 이상상황을 실시간으로 모니터링하고 상위 설비와의 통신을 통해 운전 데이터를 제공하여 반도체 제조설비의 안정적인 운영 및 환경안전 관리에 활용됨.

ㅇ 한국생산기술연구원이 요구하는 기능 구현되는 1차 P.O.U SCR

4. 규격

ㅇ 일반 규격

- 한국생산기술연구원이 요구하는 전장부의 기능 구현하되 당사 안전과 관련된 설계 및 기능의 경우, 별도 협의가 필요

- 총 4개의 Inlet Port 구성 (미 사용 Port SUS End Cap 예정

- 발주처에서 제공한 Hook Up Size 및 Service (Maintenance) Area 충족 필요

ㅇ 탑재 부품

- 장비 內 포함된 주