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<원자힘현미경>

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2026. 04.

<대경기술실용화본부 바이오메디칼생산기술센터>

<한국생산기술연구원>

<담당><사양 및 과업><대경기술실용화본부><이동욱><TEL: 010-8757-1517><입찰 및 계약><구매장비관리실><이소정><TEL : 041-589-8542>

<I>< >< 규격 개요 >

1. 납품요구 기간

○ 계약체결일로부터 90일 이내 또는 ~ 2026. 10. 31.까지

2. 용도

○ 원자힘현미경은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호작용력을 측정

- 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상으로 분석할 수 있음

- 대기는 물론이고 진공, 액상에서 초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체, 생체 시료 등 모든 시료의 표면 관찰 및 부가적인 특성 평가가 가능함

- 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 정확한 이미징이 가능함

- 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제

- 측정 속도가 기존 튜브 스캐너 방식 대비 약 3 ~ 5 배 정도 빠름

- 측정 가능 기능(일부 기능: 추가 옵션 모듈 필요) :Contact mode, True Non-contact mode, Tapping mode, Phase Imaging, LFM, FMM, EFM, KPFM, Sideband KPFM, PFM, CR-PFM, DFRT-PFM, Force vs. Distance curve, PinPoint Nanomechanical mode, MFM, C-AFM, SCM, SSRM, SMIM, Nano-indentation, Nano-lithography MFM, EFM, STM, EC-AFM, SICM, SICM-SECM 등

3. 주요 구성품

○ 주장비 (Main System)

- 최대 50㎛ x 50㎛ 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어- 최대 15㎛ 수직(Z) 스캐너-