<품 명(Description) : 고분해능 전계방출 주사전자현미경 / High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope>

<구 매 규 격 서 [ COMMODITY DESCRIPTION ]>

<품목번호 Item No.><관세분류번호 HSK No.><정부물품분류번호><수량 Q'ty><단위 Unit>

<1><9012-10-1090><41111720><3><set >

< Ⅰ. 용도 1. 전자 광원용 FEG를 갖춘 고내구성 전계 방출 주사 전자 현미경은 나노 구조의 이미징 및 분석, 그리고 X선 분광법을 통한 시료의 화학적 조성 결정에 이상적입니다. 시편은 로드락을 통해 크고 높은 샘플을 삽입하도록 설계되었으며, EDS, EBSD 시스템 및 원클릭 이동 후방 산란 전자 검출기와 같은 다양한 분석 장치를 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 2. 본 FE-SEM은 EDS를 이용하여 시편의 정량적 및 정성적 원소 분석을 가능케 하고, 추가로 EBSD를 이용하여 재료의 결정 방위를 분석할 수 있습니다. 따라서, 본 시스템(FE-SEM)은 다양한 학문 분야의 연구에 필수적인 장비입니다. 3. ACL이 통합된 이 FE-SEM은 대형 프로브 전류 조건에서도 정밀하게 집속된 전자 프로브를 형성하여 EDS 및 EBSD 매핑에 대한 효과적인 분석 결과를 효율적으로 얻을 수 있습니다. 4. 낮은 가속도 전압에서 분해능을 향상시키기 위해 새로 개발된 Beam 감속 시스템을 사용하여 최대 2kV의 바이어스 전압을 적용할 수 있습니다. 5. 조작성을 높이기 위해서는 광학 이미지와 SEM 이미지 간의 원활한 이미지 전환이 포함되어야 합니다.>

<Ⅱ. 장비의 구성 1. 주 장비 1) FE-SEM 기본 유닛 3 set 2) 전자 검출기 시스템 3 set 3) 전류 검출기 3 set 4) 조작, 관측 시스템 3 set 5) 진공 시스템 3 set 6) 에너지 분산형 X선 분광기 시스템>