국 문 규 격 서

COMMODITY DESCRIPTION

<품목번호 Item No.><세부품명번호(10자리) Korean Government Commodity Classification Code(ten-digit)><품 명 Description><단위 Unit><수량 Q'ty>

<1><2399039801><유기재료증착기><SET><1>

Ⅰ. 용도(End-user's Use)

○ Parylene Coating System은 이량체 구조의 분말 원료를 기화시키고, 기화된 가스는 고열의 열분해기를 통하여 단량체 가스 형태로 화학적으로 분자 구조가 변환되고, 변환된 단량체 가스 입자가 냉각된 상태로 증착챔버 내부로 확산되면서 제품 표면에 성장하게 되고, 성장된 박막은 폴리머 형태로 제품 표면에 증착되는 장치입니다. Parylene 박막은 진공 기상 증착으로 핀홀과 기공이 없고, 인체에 무해하며, 제품 형상에 관계없이 수㎚~수십㎛까지 균일한 박막을 형성할 수 있습니다. 내절연성, 내화학성, 내수성, 윤활성, 내부식성을 요구하는 전자부품, 의료·바이오, 센서류, 방산·우주항공, 로봇, 반도체 공정 등 모든 산업 분야에 응용됩니다.

Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. 증착 챔버

2. 진공 제어 장치

3. 증발 장치

4. 열분해 장치

5. 공정 제어 장치

Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)

1. 증착 챔버

- 기능: 용기 내부가 진공 상태로 유지되고, 제품 표면에 Parylene 박막을 성장시키는 역할

- 챔버 구조: 원통형 챔버

- 챔버 사이즈: 직경 300mm * 높이 300mm 이상

- 챔버 재질: SUS304 또는 SUS316

- 챔버 뷰 포터: 챔버 내부 확인용 투시창

- 진공 체결부: 원형 오링 Seal 채택

- 코팅용 지그: 원형 5단 (200mm 웨이퍼 안착 가능한 구조)

- 지그 회전 장치: