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품명 및 규격

Description

단위

Unit

수량

Quantity

능동 제진 시스템

set

1

1. 장비의 사용 용도

- 본 과제에서 목표로 하는 스마트 팩토리 구성용 이송 모듈의 신뢰성 및 제진 상태에서의 최적 성능에 대한 검증을 위해 필요한 장비로, 평가 환경의 지반에서 발생하는 진동을 효과적으로 제거하고, 이송 모듈 구동에 따라 발생하는 진동을 효과적으로 줄여줄 수 있는 능동 제진 시스템을 도입함으로써 구동기, 센서, 이송 모듈의 정밀도 성능을 엄밀한 환경에서 평가하고, 신뢰성 평가를 통해 연구개발/시험/평가/인증 등을 지원하고자 함

2. 상세 부품 및 사양

1) 구성

- 능동 제진을 위한 공압 및 전자기 구동기 기반의 제진 모듈

- 상부에 다양한 시스템을 설치할 수 있는 정반과 능동 제진 모듈을 지지하는 프레임 모듈

- 각 모듈을 구동 및 제어하기 위한 시스템과 이를 연결하는 케이블 모듈

- 사용자가 장비를 구동, 조정, 사용할 수 있도록 하는 장비용 소프트웨어 모듈

나. 성능 사양

- 최소 4개 이상의 능동 제진 모듈로 상부 정반을 지지하는 형태

- 견고한 제진 시스템으로 스테이지나 역동적인 페이로드 힘을 수용하며, 원치 않는 과도한 페이로드 움직임을 제거

- 수평 및 수직 방향 모듈 기반으로 6자유도 능동 제진 구성

- 고속 컨트롤러 및 플로어 피드포워드 센서를 기반 1Hz 수준의 저주파 차단

- 제진 성능 : -10dB @ 2Hz, -25dB @ 10Hz

- 안정화 성능

࢘ Ā 0.5 m/s @ 1 G : < ± 30 μm @ (stage < 40kg)

ྠ Ā 1.0 m/s @ 2 G : < ± 50 μm @ (stage < 40kg)

- 레벨링 제어 성능 : ±10 μm @ 3σ

- 6자유도 가진 기능

- 통신 : RS232, USB, Ethernet 등

3. 일반사항

가. 납기 : 계약 후 12주 이내

나. 보증기간 : 납품 후 1년 이상

다. 부대비용(운송/통관/설치/교육 등) 포함