捤獥 汤捯 湰灧 桤灧
제안 요청서
low frequency vibration isolator
2026. 7.
漠杳
桤灧 湯湷 氠瑢
목 차
桤灧 氠瑢
Ⅰ. 입찰 및 계약 관련 사항…………………………
1
Ⅱ. 구매개요……………………………………………
2
Ⅲ. 제안서 관련사항 …………………………………
7
Ⅳ. 제안서 평가………………………………………
9
붙임 ………………………………………………
10
桤灧
湯湷
Ⅰ. 입찰 및 계약 관련 사항
1. 입찰건명
- low frequency vibration isolator
2. 입찰 방법
- 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제18조(2단계 경쟁 등의 입찰)
3. 입찰참가자격
- “공고서에 의함”
4. 계약자 선정 방법
(1) 입찰방식
① 규격가격동시입찰
② 기술제안서 평가결과 적격자로 확정된 자에 한하여 가격제안서를 개찰
(2) 제안서 평가 및 낙찰자 결정방법
① 제안서는 본원의 기술평가위원회에서 평가하며, 제안서 발표없이 서면으로 평가한다. 제안사는 [붙임]을 참고하여 제안서 1부를 제출해야 한다.
② 제안서는 공고서를 참고하여 전자제출의 방식으로 제출한다.
③ 제안자가 제출한 제안서의 평가는 기술제안서 평가와 가격제안서 평가로 구분하여 평가하되, 기술제안서 평가결과 배점한도의 85% 이상인 자를 대상으로 가격제안서를 개찰한다.
④ 제안서 평가 종료 후 전자조달 시스템(나라장터) 또는 수요기관 정보처리장치 등을 통해 개별업체에 3일 이상 공개 후 조달청으로 통보(평가위원별・항목별 평가점수)하며 평가위원명은 비공개한다.
단, 제안서 평가결과에 개인정보, 영업비밀 및 다른 법령에 따라 공개가 제한되는 정보가 포함되어 있을 경우 평가결과의 일부 또는 전부를 공개하지 아니할 수 있다. 이 경우 전자조달시스템 또는 발주기관의 정보처리장치에 제안서 평가결과를 공개하지 않는다는 취지와 그 사유를 게재하여야 한다.
湯湷
5. 문의처
- 규격서 및 제안서 관련 문의 : 한국표준과학연구원 우주극한측정그룹 최재혁(042-868-5605)
- 입찰 관련 문의 : 대전지방조달청 담당 주무관
Ⅱ. 구매 개요
1. 구매내용
⑴ 물 품 명 : low frequency vibration isolator
⑵ 구매비용 : 119,240,000 원
⑶ 위 치 : 한국표준과학연구원내 지정장소
⑷ 납품기한 : 계약체결일로부터 100일 이내
2. 도입배경 및 필요성
반도체 미세 패턴 형성을 위한 포토 리소그래피 공정에서 기존 ArF, KrF 방식으로는 단일 노광 공정으로 전사할 수 있는 패턴의 선폭 축소가 제한됨에 따라 더 짧은 파장인 EUV를 활용한 반도체 공정 도입 확대 중.
EUV 기술개발 및 EUV 공정 전용으로 사용되는 첨단 소재･부품･장비에 대한 수요가 급증하였고, 소형화 및 신속한 EUV-광학계 검사기를 통한 평가시스템 기술이 시급.
이에 한국표준과학연구원은 국가측정표준대표기관으로서 측정 표준과 기술보급으로 국가 중점 전략기술의 경쟁력 제고 및 혁신 토대 제공 역할을 위하여 극자외선 검사장비용 초고정밀도 반사경 제조기술과 함께 제조 반사경의 성능평가를 위한 측정기술 개발을 하고자 함.
3. 과업의 범위
(1) 도입하고자 하는 “low frequency vibration isolator” 는 반도체 공정장비용 EUV 광학계에 필요한 초정밀 반사경의 표면 형상 오차를 진공환경에서 서브나노미터 수준으로 미세하게 측정하는 측정셋업을 진동으로부터 격리시키기기 위해 사용.
EUV 광원을 활용한 파면오차 측정이 어렵기 때문에 가시광선을 사용하여 여러가지 요인(대기외란, 소음, 진동)에 의한 측정불확도를 극한으로 제어하고 이를 분석할 수 있도록 진공챔버를 활용한 진공 파면측정 필요. 이를 위해서 구축된 진공챔버 내부에 설치되는 기준면과 시험반사경을 외부 진동과 진공챔버에서 발생하는 진동의 영향을 받지 않고 안정적으로 파면측정을 할 수 있도록 돕는 진동 제진장치의 사용이 필수적임.
(2) 구매하고자 하는 “low frequency vibration isolator” 장비는 장비 설치, 장비 동작 등 현장 테스트 검증이 완료되어야 하며, 규격에서 요구하는 스펙에 대한 자료 및 매뉴얼이 제공 되어야 함
(3) 장치의 납품 이후에도 하자보증기간(1년) 중 발생한 제품 고장 또는 성능 이상이 발생할 경우, 계약자는 신속하게 무상으로 수리 및 교환되어야 함
(4) 장비 항상성 유지를 위해 제작업체로부터 유지보수를 위한 서비스 및 기술지원이 지속적으로 제공되어야 함
4. 과업의 내용(품질 사양 기준) :
* 물품 규격서 참조
Ⅲ. 제안서 관련 사항
1. 기술제안서 작성방법
⑴ 규격서, 기술심사기준 및 세부평가기준 등 배부자료에 근거하여 작성하고 관련 자료를 첨부한다.
⑵ 제안서 작성은 A4를 기본으로 하고 공고서에 따라 전자제출 방식으로 제출한다.
⑶ 제안서 작성은 「붙임1」 제안서 작성지침에 따라 작성하되, 아래 필수 제출자료를 포함하여 작성한다.
2. 기술심사를 위한 필수 제출서류
⑴ 제안사의 일반현황, 주요연혁 등 관련 자료
⑵ 신용평가등급 확인서
⑶ 제안서
⑷ 기본규격서 : 제안 장비의 구성도 및 개략도
⑸ 중요부품 리스트
⑹ 설비 납품 및 설치계획서
3. 제안서의 효력 등
⑴ 제출된 제안서의 내용은 발주처에서 요청하지 않는 한 변경할 수 없으며 계약조건의 일부로 간주한다.
⑵ 제안서에서 제안내용 변경 등 향후 사업 추진에 반드시 필요하다고 판단될 경우에 한하여 발주처가 제안내용의 조정을 요구할 수 있으며, 계약자는 발주처와 상호 협의 진행 후 조정 요청에 따라야 한다.
⑶ 제안요청서, 제안서에 명시된 내용의 해석이 애매하거나 상이할 경우 상호 협의하여 결정한다.
⑷ 제반 주요 문의사항은 문서로 접수된 것에 한하여 회신하며 기타 전화 등 구두에 의한 것은 효력이 없다.
4. 제안조건
⑴ 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.
⑵ 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다.
⑶ 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 국가계약법 및 관련 법령에 따라 처리한다.
⑷ 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다.
⑸ 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다.
⑹ 본 제안서의 결과에 의한 계약은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등 관련법규를 준수한다.
⑺ 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안사고에 대한 민·형사상의 모든 책임을 진다.
5. 제안서 작성 유의사항
⑴ 제안서는 한국어로 작성함을 원칙으로 하며, 사용된 영문약어에 대해서는 약어표를 작성하여 첨부한다.
⑵ 제안서는 A4 크기 종방향 기준으로 작성하는 것을 원칙으로 하며, 각 쪽에는 일련번호를 부여하고, 목차별로 색인표를 붙여 작성매수는 100쪽 이내로 한다.
⑶ 제안서는 규격서를 바탕으로 [붙임 1]의 제안서 작성지침을 참조하여 각 조건에 대하여 명확하고 상세하게 작성하고, 기술적인 설명자료 등의 내용이 많을 경우에는 별첨 자료로 작성한다.
⑷ 제안서의 내용은 명확한 용어를 사용하여 표현하여야 하며, “～할 수도 있다”, “～이 가능하다”, “～을 고려하고 있다”, “～에 동의한다” 등과 같은 모호한 표현은 제안서 평가 시 불가능한 것으로 간주한다.
⑸ 제출된 제안서의 내용은 계약체결 시 계약조건의 일부로 간주하며, 세부계획 수립 추진과정에서 추후 변경할 수 있다.
⑹ 제출된 자료의 기재내용이 허위사실이 인정될 경우 국가계약법 및 관련 법령에 따라 처리한다.
⑺ 제안자는 한국표준과학연구원으로부터 배부받은 계약 및 제안서 관련 안내 등 각종자료 및 제안 과정에서 얻은 정보를 제안외의 목적으로 사용해서는 안 된다.
⑻ 제안사항에 대해 기술평가 항목별 배점기준표를 기준으로 조견표를 작성하고, 제안서 목차와 해당페이지를 기술하여야 함
Ⅳ. 제안서 평가
1. 평가 방법 및 기준
⑴ 제안서에 근거하여 평가하되, 필요한 내용에 대해서 확인을 요구할 수 있다.
⑵ 제안서의 기술부문 평가는 기술제안서 평가항목을 기준으로 하여 「붙임2」와 같은 평가항목과 비중을 가지고 평가한다.
⑶ 제안서는 일반부문, 기술부문, 기술지원에 대하여 평가한다.
⑷ 제안서 평가위원회는 연구원 내외부 전문가 5인으로 구성·운영한다.
2. 평가지침
⑴ 제안요구 사항에 대한 제안내용의 충실성과 구축완성도 등 종합적인 측면에서 평가한다.
⑵ 제안업체는 해당 과제의 제안요청내용을 명확하게 이해하고 본 제안의 목적, 범위, 전제조건과 제안의 특징 및 장점을 요약하여 기술하여야 한다.
⑶ 제안요청서에서 작성 및 제출을 요구한 사항에 대해서 기술제안서의 준비 및 작성여부, 제안사양의 적합성, 우수성, 신뢰성 등을 평가한다.
⑷ 평가에 필요한 자료를 제출하지 않았거나, 제출한 경우라도 점수를 부여할 수 없는 경우에는 최하점으로 처리할 수 있다.
3. 기타사항
⑴ 제안서 평가결과의 평가점수(위원별·평가분야별)는 공개하지만, 이외 세부내용은 공개하지 않는다.
⑵ 제출된 제안서 및 관련자료는 일절 반환하지 않으며, 제안서 제출을 위해 드는 비용은 제안자가 부담한다.
[붙임1. 기술제안서 작성내용]
氠瑢
작성항목
작성방법
제출서식
Ⅰ. 제안개요
- 제안요청 내용을 명확하게 이해하고 본 제안의
목적, 범위, 전제조건 및 제안의 특징 및 장점을 요약
자유 양식
Ⅱ. 일반관리 부문
1. 일반현황
- 제안사의 일반현황 및 주요 연혁, 주요사업 분야
- 제안사의 조직 및 사업 참여 인원현황
서식 1
서식 2
서식 3
2. 기술인력보유현황
- 제안사의 업무수행 능력 및 인원현황
자유 양식
Ⅲ. 기술능력 부문
1. Hardware
사양 충족도
- 규격서의 규격충족도 및 적합성
- 규격서상 장비 물품 구성 상세 제시
- 규격서상 주요사양 성능에 관한 근거자료 제시
- 납품 및 설치 계획 (일정, 인력, 기술 등)
자유 양식
Ⅳ. 기술지원 부문
1. 사후 관리 및
추진체계
- 시스템 유지보수 (품질보증), 인력운영계획
- 유지보수를 위한 부품수급의 용이성
- 비상인력 보유, 교육훈련 계획
자유 양식
[붙임2. 제안서 배점표]
氠瑢
평가항목
세부 평가항목
배점
비고
일반부문
(10점)
1. 경영상태
- 신용평가 등급
* 신용평가등급 확인서 제출 요망
(미제출 시 최저등급(최하점) 평가)
10
세부평가 기준에 의거 평가 시행
기술부문
(80점)
1. 과업 이해도 및 추진 계획
10
2. 사용자 편의 및 운용의 용이성(활용성)
10
3. 기본규격서의 규격충족도
10
4. 제안물품 구성의 적합성
10
5. Hardware 사양(구매규격서의 주요사양)에 관한 정량적 근거
10
6. 제안물품(기술)의 우수성
10
7. 참여 인력 구성의 적정성
10
8. 납품·설치·검사 계획의 적정성 (기술, 일정 등)
10
기술지원
(10점)
- 시스템 유지보수 제안 및 기술지원 내용
- 유지보수를 위한 부품수급의 용이성
10
계
100
※ 100점 만점 중 85점 이상 업체를 적격업체로 판정
[붙임2-1. 기술제안서 평가 세부채점기준표]
氠瑢
평가 항목
산정 배점
평점
평가 요소
평가
점수
일반
부문
(10점)
경영상태
(신용도평가)
10 ~ 7
* [별표 1] ‘신용평가등급에 의한 경영상태 평가’에 의함
10
- 신용평가 등급
* 신용평가등급 확인서 제출 요망
(미제출 시에는 최하점 평가)
기술
부문
(80점)
기술성 / Hardware
사양
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 과업 이해도 및 추진 계획
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 사용자 편의 및 운용의 용이성(활용성)
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 기본규격서의 규격충족도
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 제안물품 구성의 적합성
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- Hardware 사양(구매규격서의 주요사양)에 관한 정량적 근거
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 제안물품(기술)의 우수성
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 참여 인력 구성의 적정성
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 납품·설치·검사 계획의 적정성
(기술, 일정 등)
기술
지원
(10점)
사후 관리
및 추진체계
氠瑢
우수
양호
보통
미흡
취약
10
9
8
7
6
10
- 시스템 유지보수 제안 및 기술지원 내용
- 유지보수를 위한 부품수급의 용이성
합 계
100점
[별표1.] 신용평가등급에 의한 경영상태 평가
氠瑢
회사채
기업 어음
기업신용평가등급
배점
AAA
-
회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급
10.00
AA+, AA0, AA-
A1
회사채에 대한 신용평가등급 AA+, AA0, AA-에 준하는 등급
A+
A2+
회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급
A0
A20
회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급
A-
A2-
회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급
BBB+
A3+
회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급
BBB0
A30
회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급
BBB-
A3-
회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급
9.50
BB+, BB0
B+
회사채에 대한 신용평가등급 BB+, BB0에 준하는 등급
BB-
B0
회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급
B+, B0, B-
B-
회사채에 대한 신용평가등급 B+, B0, B-에 준하는 등급
9.00
CCC+이하
C 이하
회사채에 대한 신용평가등급 CCC+ 에 준하는 등급 이하
7.00
※ 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는 「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위하는 신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가한 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음, 기업신용평가등급을 기준으로 입찰자가 직접 제출한 신용평가등급 확인서로 평가하되 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 가장 최근의 신용평가등급이 다수가 있으며 그 결과가 서로 다른 경우에는 가장 낮은 등급으로 평가한다.
※ ‘신용평가등급 확인서’가 확인되지 않은 때에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. 다만, 입찰공고일 다음날 이후에 발생 또는 수정된 자료는 평가에서 제외한다.
※ 합병한 업체에 대하여는 합병 후 새로운 신용평가등급으로 심사하여야 하며 합병 후의 새로운 신용평가등급이 없는 경우에는 합병 대상 업체 중 가장 낮은 신용평가등급을 받은 업체의 신용평가등급으로 심사한다.
[붙임 3.]
서 약 서
업 체 명 :
주 소 :
당사는 한국표준과학연구원 ‘ low frequency vibration isolator’의 입찰 진행과 관련하여 아래의 제반사항을 준수할 것을 서약합니다.
- 아 래 -
가. 당사는 계약의 목적과 그 제안 안내서에 제시된 모든 사항을 충분히 검토, 숙지 인정 후 본 제안서를 제출하며, 사업자로 선정될 경우 본 제안서가 계약서의 일부가 될 것임을 확약합니다.
나. 제출된 제안서는 사실에 근거하며, 만일 제안서 자료 및 발표 내용이 허위로 판명될 경우에는 국가계약법 등 기타 관련 규정에 따르겠습니다.
다. 당사는 귀원 관련 규정에 따라 공정하게 구성된 평가위원, 평가방법 및 평가기준과 그 결과를 존중하겠습니다.
2026. . .
사업자 번호 :
대표자 성명 : (인)
한국표준과학연구원장 귀하
[서식1. 제안사 일반현황 및 연혁]
氠瑢
회사명
대표자
사업 분야
주소
연락처
회사설립년도
년 월
해당부문 사업기간
년 월 ~ 년 월 ( 년 개월)
주요연혁
[서식2. 사업수행 인력 투입계획]
氠瑢
사업 책임 기술자
직책
성명
관리 부문책임자
납품 부문책임자
직책
성명
직책
성명
▣ 참여자 요약
氠瑢
연번
성명
직위
업무분야
비고
1
2
3
4
5
6
7
8
9
※ 재직 및 경력 증빙을 위한 재직증명서(4대보험 납입증명서 포함) 및 경력증명서 등 제출
[서식3. 참여인력 이력사항]
氠瑢
성 명
소속
직책
자격 사항
경 력 사 항
근무기간
업 체 명
직 책
담당업무
※ 재직 및 경력 증빙을 위한 재직증명서(4대보험 납입증명서 포함) 및 경력증명서 등 제출
『표지 서식 1』
氠瑢
low frequency vibration isolator
제 안 서
2026년 월
제출업체명 ○ ○ ○ (서명)