구매 규격서

COMMODITY DESCRIPTION

품목번호 Item No.	관세분류번호 HSK No.	정부물품분류번호(8자리) Korean Government Commodity Classification Code(eight-digit)	품 명 Description	단위 Unit	수량 Q'ty
	외자구매시 작성	23990398	E-beam 용 Loadlock Module	SET	1

Ⅰ. 용도(End-user's Use)

- 본 장비는 전자빔(E-beam) 장비에서 기판을 로딩/언로딩하는 전용 공간으로, 메인 챔버의 진공을

유지하면서 기판 교체를 가능하게 하는 장비이다.

- 메인 챔버와 로드락 챔버 사이에는 게이트 벨브가 설치되어 메인 챔버의 진공 상태를 유지해야 한다.

- 시편 교체 시 메인 챔버의 진공도를 유지하므로 공정 효율 및 진공 안정성 향상한다.

- 학생들의 연구용‧실험용 공정에서 진공 오염을 최소화하여 박막 품질 및 실험 재현성을 높인다.

- 학생들의 교육 및 연구 환경에서 안전한 장비 운용을 위해 인터록(Interlock) 기능을 필수적으로 적

용 및 설정하여야 한다.

- 본 장비는 기존 전자빔(E-beam) 장비에 부착하여 사용하는 구성으로, 납품 전 수요자와의 사전 협

의를 반드시 진행하여야 하며, 기존 장비 제어 프로그램에 대한 업그레이드가 이루어져야 한다.

- 본 장비를 구성하는 부품들은 중고를 사용할 수 없으며 반드시 신품으로 제작되어야 한다.

Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. E-beam 용 Loadlock Module 1 set

Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specificpation)

1. 로드락 챔버

- 기판 트레이 용량: 웨이퍼1장

- 재질: 알루미늄

- 이송 방식: 서보 모터를 사용하여 자동으로 로딩/언로딩

- LM 이동 가이드

- SUS 벨트

- 리미트 센서

- 챔버 내부를 확인 할 수 있는 뷰 윈도우가 부착된 액세스 도어

- 직사각형의 게이트 밸브로 연결

- 전기 부품

- 기존 프로그램에 Loadlock module 기능 업그레이드

2. 진공 밸브 & 라인

- 메인 밸브: 앵글(Angle) Valve

- 자동 벤트 라인

- 라인: 하드라인(재질: Stainless steel)과 벨로우즈 라인으로 구성

Ⅳ. 기타 조건(Remarks)

1. 설치장소 : 수요자 지정 장소

2. 납기 : 계약 후 30일 이내

3. 훈련 일정 : 수요자 지정 일자

4. 본 모듈은 기존 운영 중인 장비에 부착·연동되는 형태로, 계약상대자는 제작 착수 전 반드시 발주처의

기존 장비 사양 및 환경을 현장 실사하여 확인한 후 제작을 진행하여야 한다. 또한, 장비의 정상 작동

및 최적화를 위한 프로그램 업그레이드 처리가 반드시 포함되어야 한다.

5. 본 규격과 동등 또는 이상의 제품으로 납품할 수 있다.