구 매 규 격 서
COMMODITY DESCRIPTION
| 품목번호 Item No. | 정부물품분류번호(8자리) | 품명 Description | 단위 Unit | 수량 Q'ty |
| 1 | 23211194 | 포토레지스트노광기 | SET | 1 |
І. 특징
1. 용도 : 웨이퍼에 감광액(Photoresist)을 얇게 코팅한 후 이 웨이퍼에 원하는 회로 패턴의
포토 마스크를 올려 놓고 정밀하게 정렬하여 자외선(UV)을 조사한 후, 현상과정을 거쳐
미세 회로 패턴을 얻을 수 있는 장치
2. 목적 : 포토리소그래피 공정의 핵심을 담당하는 마스크 얼라이너는 미세 회로를 구현하기
위해 균일도가 높은 자외선 광원을 사용해야 하며, 공정이 다층으로 이루어지므로 정밀한
정렬과 레벨링 등의 첨단 기술이 필요
3. 응용분야 : 반도체 소자 제작, MEMS, 바이오칩, 광학소자, 디스플레이 및 첨단 패키징
공정의 미세 패턴 형성 등
4. 장비 특징
1) 수은등의 전 파장(350-450nm)의 조사가 가능하다.
2) 마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다.
3) 1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다.
4) 평행광 오차가 ±1°를 초과하지 않는다.
5) 자외선의 조사 균일도가 ±3%를 초과하지 않는다.
Ⅱ. 규격
1. 노광 모듈 (Light source module)
- 광원의 종류 : Mercury Short arc lamp(350W)
- 파장대 : 350nm to 450nm (Standard)
- 365nm 파장대 강도 : > max 25mW/cm2
- 최대 빔 사이즈 : 6.25 inch x 6.25 inch
- 빔 노광 균일도 : ≤±3% (4인치 기준)
2. 현미경 모듈 (Microscope module)
- i -
- 듀얼 CCD 줌 마이크로 스코프
- 샘플 로딩부 축 이동 : Dual X, Y, Z axis
- 마스크 및 광원부 여유공간 : 60 ~ 100mm
- 축의 움직임 범위: Y Axis ± 20mm
- 현미경 배율 : 85x ~ 540x
- 마스크 및 마이크로 스코프 범위 : 86mm / 32mm (2X Lens 장착 시)
3. 스테이지 모듈 (Stage & controller module)
- 노광 타이머 : 0.1 sec to 999.9 Hour
- 스테이지 이동 방향 및 범위 : X, Y, Z and Theta, X, Y : ±5mm,
Theta : About ±4° / Z Motion travel : 10mm
- 컨택모드 : Vacuum, Hard, Soft Contact, Vacuum Hard contact (Force controllable)
- 정렬 오차 : <±1.0 micron
- 진공 / 공압 제어 항목 : 샘플 및 마스크 고정, 컨택
4. 해상도
- 진공 컨택 : 1um <Thin PR (Thickness 1um) @Full size Si Wafer / line&space 기준
- 하드 컨택 : 2um
- 소프트 컨택 : 3um
- 20um 근접 모드 : 5um
5. 방진테이블
- 크기 : 1,000(W) × 1,000(D) × 20(T) mm
- 상판 재질 : SUS 304 (H/L) 마감
- 높이 : 750mm (바닥면 기준 상판 상부까지)
- 레벨링 방식 : 3-Point self leveling
- 고유진동수(Natural Frequency) : 수직(Vertical) : 1.2 ~ 1.5 Hz / 수평(Horizontal) : 1.5 ~ 1.8 Hz
- 부속품 : 사각형 Arm Rest, 하부 선반(Under Shelf) 포함
- 사용 공압 : 5kgf/㎠ 이상
6. 필수 유틸리티 요구 사항
- 전력 : 220VAC / 15A / Single Phase with Ground
- ii -
- 질소 : >40psi (3㎏/㎠ ), 6mm Tube(PU) * 사용자에 따라 CDA로 대체 가능
- Clean Dry Air : >85.5 psi (Over 6 ㎏/㎠) , 6mm Tube(PU) * CDA 공급 장치 미제공
- 진공 :< -650mmHg (셋업용 진공 펌프 1대 제공)
Ⅲ. 구성
1. Mask Aligner 본체 : 1 set
2. 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어 : 1 set
3. 방진테이블 1 set
4. 주요 부속품
- Micro Scope 2x Attachment : 1 set
- Prism : 1 set
- I-line filter : 1 set
- Mask holder : 2 ea
- Vacuum chuck : 1 ea
- Vaccum pump : 1 ea
- 사용자 매뉴얼 : 1 set
Ⅳ. 비고
1. 공동계약 불가, 하도급 불가
2. 납기일: 계약 후 90일 이내
3. 납품장소: 수요기관 지정장소
4. 물품 납품 및 설치 전, 현장 실사를 통해 기 구축된 물품을 확인하고 납품을 실시하여야
하며, 현장 실사를 진행하지 않아 발생하는 책임은 납품사에 있음.
5. 설치 및 장비 사용법 교육이 이루어져야 함.
6. 납품 후 1년 무상보증
7. 본 규격서의 동등규격 이상으로 납품해야 함. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호
협의 하에 결정하며, 협의되지 않은 사항은 발주처의 결정에 따름.)
- iii -