汤捯 捤獥 물 품 규 격 서
氠瑢
품 명
수량
단위
국문명
글로브박스
2
SYS
요청학과명(부서명)
요청학과(부서) 담당자
화공생명배터리공학부
성명
김동찬
연락처
031-750-5366
설치장소
납품기한
가천대학교(성남) 공과대학2 402호 및 반도체대학 B101호
계약일로부터 90일 이내
■ 특 징
- 일반 사항 및 용도
1. 산소 및 수분을 제거한 비활성 분위기 하에서의 고분자 소재 개
2. 수분 이나 산소에 민감한 반응을 일으키는 화합물을 취급 할 수 있도록 무균 및 불활성 분위기
제공하는 System으로 촉매연구, 유기금속 반응연구, 환경평가 연구, 무기재료 연구 및 리튬전지개발, 에너지소재, 태양광 연구, 반도체 재료, OLED 등 첨단 나노소재의 제조 시 필수적인 반응 조건 제공.
3. 습기 및 산소 또는 분위기에서 민감하게 반응하는 재료를 취급하기 위해 완전히 밀봉된 장비.
4. 초순수 분위기에서 오염율이 1 PPM 이하를 유지 할 수 있도록 특별히 제작된 장비.
5. Box의 압력을 조절할 수 있는 자동압력 조절기 설치.
6. Box내의 분위기를 정제시킬수 있는 가스 정제장치 설치.
■ 물품의 구성
✓ 주요규격 (Specifications)
1. 글러브박스 모듈 (1인용 TYPE) 2대분
2. 샘플을 이동시킬 수 있는 샘플이동 간이 챔버.
3. 샘플이동 간이 BOX 옆에 붙어있는 샘플이동 간이 소형 챔버.
4. Box 의 압력을 조절할 수 있는 자동압력 조절기 (Color Touch Panel Controller)
5. Box내의 분위기를 정제시킬 수 있는 가스 정제장치 및 Support Stand.
6. Box내의 휘발성 유기물질의 효과적인 제거를 위한 솔벤트 제거장치 (재생사용가능).
7. Box 내의 수분, 산소, 압력을 실시간 모니터링 장치 및 Data Logging 가능.
8. Box 내의 이상가압 및 이상음압 발생시 진공펌프 및 Gas In/Out V/V 작동 및 정지.
9. Box Purge 시 이상가압을 방지하기위해 압력이 10.9mbar 이상시 Gas V/V작동정지.
10. Pump 과부하, Blower 및 Inverter 이상발생, 산소센서 이상시 ALARM 신호 작동.
11. Ante Chamber 진공펌프: Dry Scroll Pump 사용
12. Vacuum Oven: Anti Chamber Install up 250℃
13. Heat Exchanger / Fan: 박스내부 수분 제거 및 분위기 온도 유지 모듈 20℃ 이하 유지
14. Freezer (냉동고): 영하 35℃ 냉동고 모듈로 글로브박스 왼편에 장착 시액 및 샘플 보관 용도로 활용
✓ 주요 구성품
1. 밀폐 모듈(1개 작업대): 2 set
- 단면형, 2개 포트 Single Length: 1,200(L) X 900(H) X 780(D)mm,
- 엘라스토머 가스켓 전면 패널
- 재질: 304 스테인리스 스틸, 본체: 두께 4mm.
- 측면 엔드 패널: 두께 3mm, 0.3 미크론 필터: 2개.
- LED 천장 조명, 9인치 글러브 포트 (M/C): 2개, 부틸 고무 글러브 (직경 8인치): 1쌍.
- 창문: 긁힘 및 충격 저항성, 시각적으로 투명한 폴리카보네이트.
- 전기 콘센트: 이중 콘센트 2개 (220V), 글러브 교체 중 대기 보호를 위한 글러브 포트 커버.
- 서비스 포트 피드스루: NW40(2개), 3/8"(1개), 1/4"(1개).
- 선반: 2단.
- 누설 인증: 헬륨 질량 분석기로 보정된 ±8" W.C 상태에서 감지 가능한 누설 없음.
2. 전실 : 2세트
- 글로브박스 좌측에 설치
- 크기: 직경 390(mm) 길이 600mm, 고진공 설계, O-링 밀폐
- 진공 게이지: 부르동 튜브 다이얼 타입
- 연결: 3/8" backfill solenoid valve.
- 진공 펌프: 드라이펌프 도달진공도: 1 x 10-2 torr, Doors.
- 누설 인증: 헬륨 질량 분석기로 보정된 ±8" W.C 상태에서 감지 가능한 누설 없음.
3. 소형 전실 : 2세트
- 글로브박스 좌측에 설치
- 크기: 직경 150mm x 길이 290mm (Length), 문 : 싱글 중앙 클램프, O-ring.
- 진공 게이지 : 부르동 튜브 다이얼타입, 진공 용량 : 1 x 10-3 torr.
- 연결: 1/4" Manual refill ball valve
4. 자동 압력 제어기(Color Touch Panel) : 2세트
- -12.5mbar 에서 12.5 mbar, 제한 조정이 용이할 것
- 압력 측정 및 한계 설정. 자동 제어가 켜져 있거나 꺼져 있어도 수동 풋 스위치 작동.
- 두 개의 솔레노이드 밸브 작동. 가스 압력 : 10 psi에서 30 psi(권장 압력 약 25psi)
5. Dri Trap (정화 시스템 Double Column Purifier) : 2세트
- 1 ppm 대기에서 자동 대기 감소 제어
- 산소/수분 1 ppm 이하 제거, 제어: PLC 타입 (열, 진공, 퍼지, 재충전: 13시간)
- 재생을 위한 공압 밸브, 순환 블로워: 63 CFM, 1/4 hp. (가변 속도 제어)
- 정화제 충전 용량 (산소 게터 및 분자체)
- 2단, 전원 220V, 단상
6. 지지대 : 1세트
- 크기: 2,200(L) x 936(H) x 780(D)mm.
- 재료: SS400(강철), 도색 : C9010 MR WHITE, Caster.
7. 제어장치 : 1세트
- PLC + 터치 판넬 제어 (14“ 터치 스크린)
- 데이터 모니터링 및 이력 확인 기능을 제공하여야 한다.
✓ 부속(물품)장비(accessories)
1. 수분 분석기 : 2세트
- 정확도 : ± 2℃
- 반복성 : ± 0.5℃
- 해상도 : 0.1℃ 또는 0.1 ppm
- 출력 : 4-20mA DC. 최대 부하 250Ω
- 측정 범위 : 0 ~ 1,000 ppm
- 작동 온도 : -40 ~ +60℃
- 작동 압력 : 최대 45 MPa (450 barg / 6500 psig)
2. 산분 분석기 : 2세트
- 지르코니아 셀 타입 (CE 인증)
- 반복성 : ± 0.5%
- 작동압력: 대기압 ~ 10-3Pa
- 측정 범위 : 0.001 ~ 1,000 ppm
- 가스 측정 온도 : 100℃
3. 용매 트랩 (화학형) : 2세트
- 글러브 박스 지지대 내 설치
- 특수 설계된 배관 및 화학 필터.
- 공압식 차단 밸브 및 바이패스 밸브, NW40 클램프.
- 자동 PLC 타입 재생 과정.
4. 글브박스 내부 온도 조절 장치 (Heat-Exchanger) 모듈 2세트
- 글러브박스 내부 좌측 상단 장착
- 냉각용 블록 과 송풍용 블로우 구성
- 온도 감지 센서
- 박스 내부 온도 20℃ 이하 유지
5. 진공 오븐 챔버 : 2세트
- 안티 챔버 장착 형
- 열처리 가능 온도 최대 300℃
- 시즈 히터 타입 히터.
- 사용자 보호용 커버 포함
6 샘플 및 물질 보관용 냉동고 2세트
- 글러브박스 좌측 뒤쪽 장착
- 글러브박스 와 분리 가능하도록 개/폐 도어 장착
- -35℃ 이하에서 셈플 및 시료 보관 가능
7. 피드스로우 파트
- NW50, NW40, BNC 피드스로우 포트
8. 글로브박스 퍼징 시스템
- PLC 제어 박스 퍼징 시스템
- 압력 및 솔벤트 농도 감시에 따른 자동 퍼징 장치
■ 성능 및 규격(세부사양)
- 장비 특징
1. 글러브박스 내부로 샘플 등을 운송하는 챔버의 경우, Vacuum capacity : 1 x 10-3 torr 이상을 만족하여야 한다.
2. 글러브박스 내부에 산소센서 및 수분센서가 장착되며, 터치스크린을 통하여 동작 및 실시간 모니터링이 가능하여야 한다.
3. Purifier는 산소 및 수분을 0.1 ppm 이하로 유지 가능하여야 하며, PLC 제어 방식의 자동 재생 기능을 포함하여야 한다.
4. 장비는 PLC 기반 제어 시스템을 적용하며 수분, 산소, 압력 데이터를 실시간 모니터링 할 수 있어야 한다.
5. Box Purge 시 이상 가압 방지 기능이 포함되어야 하며 설정 압력 초과 시 Gas Inlet Valve가 자동 제어되어야 한다.
6. 박스 내부 압력이 설정 범위를 초과할 경우, 진공펌프 및 솔레노이드 밸브가 자동 작동하여 압력을 제어할 수 있어야 한다.
7. Pump 과부하, Blower 이상, 센서 이상 발생 시 경보(Alarm) 기능이 작동하여야 한다.
8. 누설률 : 질량 분석기로 보정된 3 x 10-10 st. cc/sec에서 ±8 W.C. 상태에서 감지 불가.
9. 대기 감소를 0.1 ppm 이하로 자동 제어.
10. 블로워 : 고용량, 고유량 (64 CFM).
11. Purifier의 경우 O2-45L, H2O-1,900 g 이상을 흡수할 수 있어야 한다.
12. 정화기 용량 : 산소 게터 및 산화구리 정화제 충전 용량.
13. Box의 Leak Certification은 다음을 만족해야 한다.
No detectable leak at 17 mbar with Helium spectrometer calibrated and < 0.05Vol%/Hour (ISO 10648-2)
14. 제작에 사용되는 모든 부품은 신품을 사용하여야 한다.
■ 장비 설치 및 검사
1) 계약/공급자는 가장 최신의 장비를 공급하여야 한다.
2) 계약/공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반 경비 및 준비 사항을 부담하여야 한다.
3) 검사방법은 수요기관과 협의한 사항에 따라 지정한 장소에 장비 설치 후 실시한다.
4) 계약/공급자는 발주부터 입고, 설치 및 운용 교육까지 제안 범위에 포함된 장비 및 부속품을 일괄 납품하여야 한다.
5) 최종 검사 결과 시스템 운영이 불가하다고 판단되거나 장비의 하자 발생으로 계약조건을 이행하지 못하는 것으로 판단될 시 발주처의 요구에 의해 공급처는 납품 및 설치한 모든 장비를 철거 및 회수, 복구해야 하며 그 비용은 공급처의 부담으로 한다.
6) 최종 검사 시 상세 명세서(납품 장비의 품명, 규격, 수량 등 상세 항목을 담은 서류) 1부를 제출한다.
■ 교육 및 기술지원
1) 계약/공급자는 설치 완료 후 교육을 실시하고 필요에 따라 사전 협의하여 수요기관 장비 담당자
에게 장비 운영, 유지보수 및 프로그램 교육을 추가로 실시한다.
2) 시스템 운영/유지보수 매뉴얼, Software 교육자료(한글) 각 1부씩 제공하여야 한다.
3) 교육 내용 : 장비 작동법 교육, 유지보수 교육
4) 상기 교육은 반드시 공급 업체 소속 전문 엔지니어를 통해 실시한다.
■ 하자보증
- 장비의 무상 보증 및 유지 보수 기간은 설치, 시운전 후 1년(검수 완료 후 보증 서류 별도 제출 요구 예정)
1) 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 협의된 일정에 맞게 파츠 공급 및 수리가 진행되어야 한다.
2) 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급 가능 시점을 확인하여 수요기관에 통보하고 승인을 받아야 한다.
■ 인도조건 : 현장설치도
수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치
계약 후 90일 이내에 구매 장비의 설치 완료
■ 기타사항
1) 고순도 불활성가스(Ar or N2 Gas) 및 재생가스 (Ar + H2 (4%)) 는 수요기관 준비 예정
2) 본 규격서에 언급되지 않은 사항은 일반 구매 계약 기준에 따르며 계약 후의 별도 사항 발생 시에
는 상호 협의 하에 진행
3) 동종 물품으로서, 제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 사양을 충족하는 물품 가능 (단, 규격검토확인서 필요)
4) 기타 규격문의는 담당자에게 문의