일반사양서

Ⅰ. 명칭 : 3D 광학 프로파일러

Ⅱ. 세부품명번호 : 표면거칠기측정기, 4111461801

Ⅲ. 용도(End-user's Use and Feature)

1. 웨이퍼 및 박막 표면의 3차원 형상, 표면 거칠기 및 두께 균일도를 비접촉 방식으로 정밀 측정

2. 최대 6인치 웨이퍼 전면을 자동 스캔하여 Bowing, Warpage 및 Peak-to-Valley를 정량적으로 분석하고 형상 맵 구축

3. 에피택시 성장 전·후 웨이퍼의 형상 변화를 비교하여 불량 원인을 분석하고 공정 조건을 최적화

4. 산화갈륨, SiC, GaN 및 Si 기반 반도체 소재의 표면 특성 분석과 공정 재현성·신뢰성 향상을

5. 측정 결과의 데이터베이스화 및 소재·공정 데이터 표준화와 반도체 소재 기업 및 산학연 공동활용 연구 지원

Ⅳ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. 3D 광학 프로파일러 : 1 set

Ⅴ. 성능 및 규격(Performance and Specification)

3D 광학 프로파일러 부분

Max. Scan Range

Vertical Resolution

Lateral Resolution

Step Height Accuracy

Step Height Repeatability

Max Scan

Reflectivity Range

Max. Sample Slope

Sample Height

XY Sample Stage

Z Focusing

Optical Metrology

Module

Objectives

: LWD(Long Working Distance) 1X, 1.5X, 2X, 5X,10X

Available Zoom Lenses

Camera

Software System

Software Packages

Automation

1. motorized XY stage

2. Multi-Wavelength LED illumination

: ≥ 2 center wavelength; optimized for various materials and reflectivities

3. Optical-Head Tip/Tilt

: Automatic sample-tilt correction; motorized head actuation

4. Motorized Objective Turret

: Automatic magnification switching ≥ 5 objective lenses

Ⅵ. 기타 조건(Remarks)

1. 설치 및 검수

(1) 납품기한 :

계약후 98일 이내

(2) 납품장소 :

- 경상남도 진주시 소호로 101

한국세라믹기술원 연구동 516호

(3) 시스템을 구성하는 모든 구성품은 신품이어야 하며, 제조사에 출고한 원형대로 납품하되, 출고 시 포함된 옵션 등은 목록상에 언급되지 않더라도 가격에 포함된 경우에는 반드시 함께 납품되어야 함

(4) 수요자가 지정한 장소에 공급자 책임하에 납품되어야 하며 장비의 설치 및 operation은 제조사에서 인정하는 엔지니어가 실시하여야 함

(5) 시 운전 및 검수에 필요한 모든 경비는 공급자가 부담하여야 함

(6) 검수 시 장비 설치에 필요한 유틸리티에 대하여 공급자가 부담하여야 함

2. 유지보수 및 지원

(1)

납품된 물품에 대한 무상 하자보증 및 사후 관리 기간은 1년으로 하며 하자보증 기간 동안

모든 기술 출장료와 하드웨어 부품은 무상으로 지원한다. 서비스 접수의 초기대응은 48시간

내 이뤄져야 한다.

(2) 무상유지보수 기간 :

장비 설치 및 검수 완료 후, 12개월