용도설명 및 구매사양서

(국문) 집속이온빔장치(FIB) Optics module

1. 품 명

(영문)

2 . 수 량 / 단 위 3 . 금 액 원

5 . 품 목 번 호

4. 연 구과 제명

( H S K N o . )

6. 제 작회 사명

( 국 명 )

7 . 국 내 제 작

8.기기의 중복 보유여부

가 능 여 부

9. 사용용도/

내구년수

10. 품명 및 세부사양 단위 수량

A.기본구성사양

1.RBLD, NGSEM OPTICS MODULE CONSFEG EA 1.

- Part No. 4035 273 15841

B.기타사양

A. 기본구성사양

-.RBLD, NGSEM OPTICS MODULE

1) FEG emiiter

2) Suppressor

3) Extractor

4) Quadrupole C0 (works also as condenser C0)

5) Electrostatic condenser C1

: 기본구성사양 항목들이 작은 부품들로 이루어져, 현장 조립 작업이 불가능하여 module 형태의 일체형

으로 제작되어 공급

B. 기타사항

1) 보증기간: 설치 후 1 년

2) 제품 및 납품방법: 주문 의뢰자의 요청에 의해, 지정된 장소 및 장비에 설치

① 현장 납품(O), ② 현장 설치(O), ③ A/S필요(O), ④ 기타(O)

한국기초과학지원연구원