[조달청 부산지방조달청] 본원 및 중수로 실증분석동 전자탐침 마이크로분석기 구매

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捤獥汤捯 구매 규격서

Commodity Description

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종목

번호

Item No.

관세분류

번호

HSK No.

정부물품분류번호(8자리)

Korean Government

Commodity Classification

Code(eight-digit)

품 명

Description

단 위

Unit

수 량

Q'ty

9012.10.1090

41101811

전자탐침마이크로분석기

(EPMA)

시스템

Ⅰ. 용도

본 연구 장비인 미소 탐침분석기(EPMA)는 전자현미경과 같이 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 특성 X-선의 파장을 분석할 수 있는 WDS (파장 분산형 X선 분광분석기)를 장착하여 특정 성분에 대한 신뢰도 높은 정량분석을 진행할 수 있는 장비이다.

기본적인 전자현미경 구조를 갖추고 있기 때문에 이차전자 및 반사전자를 검출할 수 있는 검출기의 장착을 통해 이미지 취득이 가능하며 미소영역에 대하여 최대 30만배의 이미지관찰이 가능하다. 이 두가지 기능이 병행되기 때문에 이미지관찰과 함께 WDS 분석위치에 대한 특정이 가능하다. 미지의 원소에 대한 정성분석이 손쉬운 EDS (에너지 분산형 X선 분광분석기)를 장착하여 WDS로 분석할 수 있기 때문에 미세영역에 포함되어 있는 미지의 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있다. 특히 WDS는 최대 5 channel까지 장착하여 분석 정확도도 높고 분석 소요시간을 단축하여 한층 더 정확한 성분분석을 할 수 있는 장비로 이러한 특성으로 인해 EPMA는 금속, 재료뿐만 아니라 지질, 반도체, 세라믹등 다양한 분야에서 이미지를 관찰하고 성분분석을 진행하여 연구용으로 필수적인 장비로도 널리 사용되고 있다.

Ⅱ. 장비의 구성

1. 주장비

1) 전자 탐침 미소분석기 본체 ˪ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

潴景 2) 시료 교환실 ຢ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

湯慴 / 湯慴

3) 스테이지 고정형 교정시편 ˪ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

4) 오퍼레이팅 시스템 및 LCD 모니터 ֆ Ā ྠ Ā ྠ Ā 2 unit

5) WDS X선 분광분석기 ൪ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 5 unit

6) 분광분석기 컨트롤러 ຢ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 5 unit

7) WDS 시스템 크리스탈 ௚ Ā ஸ Ā ྠ Ā ྠ Ā 10 unit

8) 가스 유입형 비례 카운터 ے Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 5 unit

9) 표준 샘플 마운트 Ӟ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

10) 샘플 홀더 Â Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

11) EPMA 분석 소프트웨어 ׺ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

12) EPMA 분석 샘플 전처리 시스템 ߮ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

13) 에너지 분산형 X선 분광분석기 ਢ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 set

14) EPMA 표준 샘플 І Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 set

2. 보조장비

1) EPMA용 냉각수 공급장치 к Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 set

2) EPMA용 자동전압조정장치 Ɇ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 set

3) EPMA용 로터리 펌프 ఊ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 set

Ⅲ. 성능 및 규격

1. 성능

1) 검출가능 원소 범위 : ௒ Ā ྠ Ā 5B to 92U 또는 이상

2) 검출가능 파장 범위 : ௒ Ā ྠ Ā 0.087 to 9.3nm 또는 이상

3) WDS 개수 : ૾ Ā ྠ Ā ྠ Ā 5개 또는 이상.

4) 최대 시편 크기 : ׶ Ā ྠ Ā ྠ Ā 100x100x50mm 또는 이상

5) 시편 스테이지 드라이브 속도 : ৞ Ā 15mm/s 또는 이상

6) 가속 전압 : ෆ Ā ྠ Ā ྠ Ā 최대 30kV 또는 이상

7) 프로브 전류 : ৞ Ā ྠ Ā ྠ Ā 최대 10uA 또는 이상

8) 프로브 전류 안정도 : ௒ Ā ྠ Ā ±0.05%/1h 또는 이하

࠶ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ±0.3%/12h 또는 이하

9) 이차전자 이미지 분해능 : Ђ Ā ྠ Ā 6.0nm (30kV) 또는 이하

10) 후방산란전자 검출기 : প Ā ྠ Ā 탑재

11) 배율 : প Ā ྠ Ā ྠ Ā x40 to x300,000

2. 전자 광학 시스템

1) 전자총 :

-. 타입 : ۖ Ā ྠ Ā ྠ Ā 중앙 조정형 텅스텐 헤어핀 필라멘트 또는 LaB6 전자소스

2) 렌즈 시스템

-. 관측 모드 : ಲ Ā ྠ Ā EPMA & SEM

-. 콘덴서 렌즈 (CL) : Ā ྠ Ā 자기장, 2 스테이지 렌즈 또는 이상

-. 대물 렌즈 (OL) : ͺ Ā ྠ Ā 자기장 렌즈

-. 대물 렌즈 어퍼쳐 : ۖ Ā 탑재

-. 히스테리시스 제거기: ા Ā 탑재 (CL, ACL, OL, 주사 coil)

-. 자동 기능 : ಲ Ā ྠ Ā 자동 포커싱

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 스티그메이터

3. 광학 현미경 (OM) 시스템

1) 타입 : ৞ Ā ྠ Ā ྠ Ā 전자-프로브 동기형

2) 분해능 : Ђ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1.0um 또는 이하

3) 초점 심도 : Ā ྠ Ā ྠ Ā ±1um 또는 이상

4) Field of view : ঢ Ā ྠ Ā 0.36 X 0.27mm 또는 이상

5) OM 자동 포커싱 : ͆ Ā ྠ Ā 탑재

4. 시편 스테이지

1) 타입 : 3축 모터 스테이지 또는 이상

2) 시편 스테이지

-. 스테이지 움직임 범위 : ۖ Ā X: 90, Y: 100mm, Z: 7.5mm 또는 이상

-. 작동 거리 (WD) : Ā ඬ Ā 11mm 또는 이상

-. 스테이지 컨트롤 : ຦ Ā 트랙볼 또는 조이스틱

3) 시편 교환 챔버

-. 시편 교환 : ા Ā ྠ Ā 자동 에어락 챔버 시스템

-. 관측 위치 가이드 : ಲ Ā 컬러 CCD 카메라 Navigation 시스템

-. 교정 시편 : ા Ā ྠ Ā 시편 스테이지 설치

5. 파장 분산형 X선 분광분석기 (WDS) 시스템

1) WDS 개수 : ૾ Ā ྠ Ā 5 유닛 또는 이상

2) 방식 : ߪ Ā ྠ Ā ྠ Ā Linear-타입 WDS

3) X선 take-off 각도 : ༦ Ā 40° 또는 이상

4) 크리스탈 교환 : ׶ Ā ྠ Ā 자동 교환 및 분석 소프트웨어에 의한 마우스 조작.

5) 크리스탈 교환 위치 : ෆ Ā 모든 포지션.

6) X선 검출기 : ୮ Ā ྠ Ā 가스 충전 비례형 카운터 (각 WDS)

7) X선 검출 위치 표시 : ൢ Ā 길이 (mm), 파장 (nm) 또는 (Å), 에너지 (keV) 표시.

6. 전자 검출기 시스템

1) 이차전자 검출기 : Ђ Ā ྠ Ā E-T 타입 검출기, 챔버 검출 타입

2) 후방산란전자 검출기 : ௒ Ā Si-PN junction 원형 타입

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 조성 이미지 & 형상 이미지

7. 조작 시스템

1) PC 조작 시스템 : ̲ Ā ྠ Ā Windows® 10 Professional 64 bit

2) 조작 방법 ö Ā : ໄ Ā ྠ Ā SEM & WDS 연동 소프트웨어

3) LCD 모니터 : ౺ Ā ྠ Ā 24인치 x 2 또는 이상

4) 컨트롤 아이템 : ߪ Ā ྠ Ā 전자 광학 시스템

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 이미지 전처리 시스템

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 광학 현미경 시스템

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 시편 스테이지 시스템

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā WDS & X선 측정 시스템

5) 전자 광학 시스템 조작용 오퍼레이션 패널

8. 주사, 이미지 전처리, 관측 시스템

1) 디스플레이 모드 : Ђ Ā ྠ Ā 풀 스크린 스캔 Ϩ Ā

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 다이렉트 배율

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 2-이미지 & 4-이미지 디스플레이

2) 주사 속도 : Ā ྠ Ā ྠ Ā 속도 선택 시스템

3) 이미지 전처리 : ߪ Ā ྠ Ā 평균화 기능 (1~1024회)

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 인테그레이션 기능 (1~1024회)

4) 이미지 관측 : ৞ Ā ྠ Ā SEM 관측

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 이미지 비교

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 제로멕 기능

5) 자동 기능 : Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 포커싱

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 astigmatism 교정

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 노출 조정

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 프로브 전류 조정

9. EPMA 분석 소프트웨어

1) WDS 정성 & 정량 분석 소프트웨어

2) WDS 선 & 면 분석 소프트웨어

3) WDS 연속 분석 소프트웨어

4) WDS 심플 분석 세팅 기능

5) 분석 조건 레시피

6) PHI-RHO-Z 정량 분석 프로그램

7) Phase map maker

8) 정량 매핑 프로그램

9) Non flat 표면 분석 프로그램

10) EPMA & WDS용 초기 설정 소프트웨어

10. 진공 시스템

1) 타입 : ৞ Ā ྠ Ā 풀 자동 TMP 진공 시스템

2) 진공, 질소가스 벤팅 시스템

3) 작동중 진공도

-. 1.3 X 10-5Pa 또는 이하

4) 진동 펌프 : ෆ Ā 터보 분자 펌프 (TMP) : 300 L/s 또는 이상, 1 unit

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā RP 또는 Scroll pump : 100 L/min 또는 이상, 1 unit

11. EPMA용 시편 홀더

1) 26mm dia. 마운트 시편 홀더 ໎ Ā ඬ Ā 1 unit

2) 36mm dia. 마운트 시편 홀더 ໎ Ā ྠ Ā 1 unit

3) 대형 시편 홀더 100X100mm 또는 이상 ం Ā 1 unit

4) 광학 현미경 슬라이드 글래서 홀더 Ӟ Ā ྠ Ā 1 unit

5) 시편 틸팅 로테이션 홀더 ے Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 unit

12. SEM용 에너지 분산형 X선 분광분석기

1) EDS 검출기: ৎ Ā SDD 타입, LN2 free 검출기

2) 센서 크기: ˎ Ā ྠ Ā 30mm2 또는 이상

3) 에너지 분해능: ࣺ Ā 129eV (Mn Ka, 5,000cps)

4) 검출 범위: ê Ā ྠ Ā Be to U 또는 이상

6) 최대 카운트: ຦ Ā 300 kcps 또는 이상

7) Take-off 각도 ಪ Ā 40° (WD11 mm) 또는 이상

8) 분석 소프트웨어: ܖ Ā 포인트, 영역, 라니 스캔, 매핑 EDS 분석

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā 정량, 정성 분석

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā 라이브 스펙트럼 & 라이브 매핑

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā 오버랩, 배경 보정 매핑

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 시편 드리프트 보정

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 phase 식별

ƒ Ā ࢘ Ā ྠ Ā ྠ Ā 정량 매핑 및 라인 스캔

13. EPMA 분석용 표준 샘플

1) 희토류 표준 샘플

2) 메탈 표준 샘플

3) 미네랄 표준 샘플

4) 교정용 표준 샘플

5) 산화물 표준 샘플

6) 복합 표준 샘플

Ⅳ. 기타

1. 장비의 설치 작업은 제작사의 검증을 받은 엔지니어에 의해 진행.

2. 보증 서비스는 제조사에 의한 설치일을 기준으로 24개월간 진행 또는 동등한 수준의 서비스가 제공.

3. 장비에 대한 사용 연수는 제작사의 검정을 받은 엔지니어를 통해 설치시 무상으로 진행.

慤桥潴景 = 끝 =