汤捯 捤獥 물 품 규 격 서
氠瑢
품 명
수량
단위
국문명
ACTIVE MASK 외 32종
48
개
요청학과명(부서명)
요청학과(부서) 담당자
조기취업형대학원사업단
성명
조의식
연락처
010-8214-2999
설치장소
납품기한
가천대학교(성남) 반도체대학 230호
계약일로부터 3개월 이내
■ 규 격
氠瑢
순번
품명(소재)
규격
수량
1
Active mask (INVAR36)
- 0.1t (자성체)
- 125*99 mm
- Laser Cut + Laser Welding
1
2
Anode mask (INVAR36)
- 0.1t (자성체)
- 125*99 mm
- Laser Cut + Laser Welding
1
3
Cathode mask (INVAR36)
- 0.1t (자성체)
- 125*99 mm
- Laser Cut + Laser Welding
1
4
ISO Mask
- SUS420 + SUS304
1
5
Mesh mask (Ni)
- Size : 125*99 mm
- 0.05t (자성체)
- Electro Forming + Laser Welding
1
6
Glass tray
- Size : 85*85- Al6061 (ALCOA)
1
7
Reflector Wall
Tantalum
Backing 포함
1
8
TC Fixture
SUS304
1
9
Shaft
SUS304
3
10
Base Plate
SUS304
1
11
TC Power Connector
Brass
2
12
Power Connector
Brass
2
13
Jig Shaft
Al2O3
4
14
Power Insulator
Al2O3
1
15
Top Insulator
Al2O3
1
16
Bottom Insulator
Al2O3
1
17
TA Wire Jig1
Al2O3
1
18
TA Wire Jig2
Al2O3
1
19
Ceramic Tube
Al2O3
2
20
Tungsten Wire
Tungsten
1
21
TC
C-Type
1
22
Copper Gasket(4.5“)
Size : 4.5“
2
23
Copper Gasket(1.33“)
Size : 1.33“
1
24
Mid Cell Crucible
- 재질: PBN
- 용량: 10 CC
- MAX 온도: 약 900 ~ 1,000 ℃
- 1908-4-OA-F519-0
2
25
Ring pattern mask-1
- 1908-OX-X170-0
- SUS420 + INVAR36
- Round Head Slot Pattern
1
26
Ring pattern mask-2
- 1908-OX-X180-0
- SUS420 + INVAR36
- Hooked Round Head Slot Pattern
1
27
Ring pattern mask-3
- 1908-OX-X190-0
- SUS420 + INVAR36
- Ring-End Slot Pattern
1
28
Ring pattern mask-4
- Common reflective electrode
- SUS420 + INVAR36
Ag 100nm
1
29
Boat Clamp
- 1908-4-OD-O601-0 / 1908-4-OD-O602-0
- 재질 : Copper
- 후처리 : Silver Coating
2
30
Boat Shield 1
- 1908-4-OD-O604-0
- 재질 : SUS304
- 후처리 : Sanding #80
2
31
Boat Shield 2 (Bottom)
- 1908-4-OD-O605-0
- 재질 : SUS304
- 후처리 : Sanding #80
2
32
Center Shield (Boat Support)
- 1908-4-OD-O606-0
- 재질 : SUS304
- 후처리 : Sanding #80
2
33
Crucible (BN)
- C5-BN
2
합 계
浵╦ 48 浵ࡦ
■ 인도조건
수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치
■ 기타사항
기타 규격문의는 담당자에게 문의