정밀 선형 진공 위치제어 스테이지

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정밀 선형 진공 위치제어 스테이지

2026. 08.

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주문형생산연구부문

한국생산기술연구원

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담당

사양 및 과업

주문형생산연구부문

하철우

TEL: 010-3355-9058

입찰 및 계약

구매자산실

이승옥

TEL : 041-589-8547

湯慴

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I

규격 개요

1. 납품요구 기간

○ 계약체결일로부터 30일 이내

2. 용도

○ (개요) 한국생산기술연구원에서 「첨단 바이오 소재 부품 제조혁신 기술 개발 사업」 연구를 수행 중 입니다. 해당 과제를 수행하기 위하여, 고진공 환경에서 시료 및 광학 부품의 정밀 이송이 가능한 ‘정밀 선형 진공 위치제어 스테이지’를 구매하고자 합니다.

○ (용도) 고진공 환경 내 정밀 위치제어 공정 수행

- 고진공(HV, 10⁻⁷ mbar) 환경에서 시료 및 광학 부품의 정밀 위치 제어를 수행하는 전동식 선형 위치제어 스테이지로, 진공 챔버 내부에 직접 설치되어 서브 마이크론(sub-micron) 수준의 정밀 이송을 수행함

- 첨단 바이오 소재 부품 제조 공정에서, 청정 진공 환경 내 서브 마이크론 수준의 정밀 이송 기반을 확보하여 제조 공정의 정밀도 및 재현성 향상에 기여함

- 진공 전용 스텝 모터와 무윤활 케이지 구조를 적용하여, 진공 중 가스 방출 및 미세 입자 발생을 최소화하고 챔버 청정도를 유지함

- 수직 설치용 베이스를 통한 다축(XY/XYZ) 확장이 가능하여 시료 정렬, 광학계 정밀 정렬, 시료 스캐닝 등 다양한 실험 구성에 활용 가능함

- 고진공·극저온·방사선 등 가혹 환경에서의 정밀 측정·실험 공정에 적용되어, 측정 결과의 재현성과 신뢰성을 향상시킬 수 있음

3. 주요 구성품 (부품)

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[스테이지 구성]

○ 스테이지 본체

- 케이지 구조의 봉-가이드 방식 무윤활 이송부

- 고진공(10⁻⁷ mbar) 대응 진공 적합 구조체

- 수직 설치용 베이스

○ 구동 장치

- 진공 전용 스텝 모터

- 예압형 너트 적용 이송 나사 (피치 1 mm)

- 리졸버 기반 폐회로 제어 모듈 (옵션 사양)

○ 보호 장치

- 비접촉식 이송 제한 센서 2개

- 양 끝단 기계적 하드 스토퍼

○ 배선 및 전원

- 진공용 케이블 1,000 mm

- 전용 모터 컨트롤러 연동 구동 전원 (별도 공급)

○ 부가 액세서리

- 눈금 표시 수동 조작 손잡이

- 다축(XY/XYZ) 확장용 마운트 및 브래킷

4. 성능 및 규격

○ 기본 구조

- 외형 치수 (L×W×H): 367 × 87 × 75 mm (이송 거리 200 mm 기준)

- 장비 무게: 1.5 kg 이하

- 본체 구조: 케이지 구조의 봉-가이드 방식, 무윤활 설계

○ 사용 환경

- 진공도: 고진공 10⁻⁷ mbar 이상

- 사용 온도: 상온 동작 (내방사선·극저온 사양 호환)

○ 구동 장치

- 구동 모터: 진공용 스텝 모터

- 이송 나사: 피치 1 mm / 회전, 예압형 너트 적용

- 분해능: 200 스텝 / 회전

- 위치 피드백: 리졸버 기반 폐회로 제어 (옵션 사양)

○ 이송 성능

- 이송 거리: 200 mm

- 반복 정밀도: 1 µm 이하 (서브 마이크론급)

- 최대 이송 속도: 10 mm/s

- 최대 부하 하중: 10 N (이동부 1개당)

○ 보호 장치

- 이송 제한 센서: 비접촉식 평상시 닫힘(N.C.) 방식 2개

- 센서 조정: 이송 범위 내 자유 위치 조정 가능

- 기계적 정지부: 양 끝단 하드 스토퍼 적용

○ 부가 기능

- 수동 조작: 눈금 표시 수동 손잡이 (전원 차단 시 수동 이송 가능)

- 거치 방식: 수직 설치용 베이스 포함, 다축(XY/XYZ) 확장 가능

○ 배선 및 전원

- 진공용 케이블: 1,000 mm 기본 제공 (별도 진공 도입부 필요)

- 구동 전원: 전용 모터 컨트롤러 연동 (DC 구동, 별도 공급)

5. 납품 조건

○ 공급자 자격

- 공급자는 진공용 정밀 위치제어 스테이지의 운용기술을 보유하여 지속적인 유지보수가 가능하여야 함.

- 공급자는 부품의 납품 및 설치, 부품과 연계된 사항에 대한 사용자 교육이 가능해야 함.

6. 설치 및 검수

○ 납품기한 기준

- 납품기한은 모든 시험 및 검사를 완료한 후 납품검사에 합격되어 고객이 검수, 승인한 날을 납품완료로 본다.

- 납품기한은 고객의 사정에 따라 납품기한을 연기할 수 있으며, 이 경우 계약서 상의 지체보상금은 면제하며 계약상대자는 이에 따른 손해배상을 청구할 수 없다.

- 검수완료 후 12개월간 무상 유지보수 서비스를 제공한다.

○ 납품장소

- 경기도 시흥시 서해안로 113-58 한국생산기술연구원 지능화뿌리기술연구소

○ 납품방법

- 부품 납품 및 설치

7. 교육

○ 부품 설치, 운용 교육 실시

- 부품 설치 시 부품과 연계된 사항에 대한 교육을 실시하여야 함.

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Ⅱ

일반 사항

1. 계약내용 및 이의의 해석

ㅇ 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 한국생산기술연구원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다.

2. 계약상대자의 책무

ㅇ 계약상대자는 물품(재료)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다.

ㅇ 계약상대자는 시험장비 제작 전 한국생산기술연구원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다.

ㅇ 물품(재료)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다.

ㅇ 계약 후 납품된 물품(재료)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.

ㅇ 물품(재료)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.

3. 포장 및 운반

ㅇ 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 재료(부품)의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다.

ㅇ 재료(부품)의 운반중 부품의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약상대자의 책임 하에 이행하여야 한다.

4. 설치

ㅇ 설치작업 이전에 반드시 지정된 설치장소에 대한 기초상태 등 제반여건을 사전 확인한 후에 부품을 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약상대자가 부담한다.

ㅇ 계약 후 물품(재료)를 납품하여 설치 및 시운전시 계약상대자는 제품의 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다.

5. 안전대책 및 책임

ㅇ 계약수행 과정에서 발생하는 계약수행 인력의 제반 안전사고 책임 및 행정적, 기술적 비용과 문제처리는 계약상대자 부담한다.

ㅇ 계약상대자는 계약수행 인력의 작업 중 안전사고 예방에 관한 규정을 제정․시행하여야 한다.

ㅇ 계약상대자는 납품 및 설치 과정의 안전관리 방안을 준비하여야 하며 이의 소홀로 발생한 문제는 계약상대자가 일체의 책임을 진다.

ㅇ 계약상대자는 계약수행 인력에 대하여 근로기준법, 산업안전보건법, 산업재해보상보험법, 직업안전법 등 제반 법률상 사용자로서의 책임과 의무를 이행하여야 한다.

ㅇ 계약수행 중 발생한 모든 안전사고에 대한 책임(민․형사상)은 계약상대자에게 있다.

6. 보안 유지

ㅇ 계약상대자는 공고문, 규격서 등 공개된 문서 내용 외에 계약수행 과정 중 취득한 각종 정보를 한국생산기술연구원의 승인 없이 소유 또는 외부 유출 할 수 없다.

ㅇ 보안 유지가 필요한 계약의 경우 비밀유지 대책, 보안각서 등 한국생산기술연구원의 보안 요구사항에 응하여야 한다.

ㅇ 계약상대자는 계약 수행 관련 자료를 납품 전까지 별도 보관함에 구분하여 보관토록 하고, 관리책임자 정․부를 지정하여 관리하여야 한다.

ㅇ 계약상대자는 납품 및 설치 등을 위하여 한국생산기술연구원에 출입할 경우 작업지정 장소 이외의 공간에 출입을 금지한다.

7. 교육훈련(기술지도)

ㅇ 계약상대자는 필요시, 시험부품의 운용이 가능하도록 사용법 및 기타 필요한 사항을 사용 담당자를 대상으로 납품 완료와 동시에 교육을 실시하여야 한다.

ㅇ 교육 일정 등 세부적인 사항에 대하여는 한국생산기술연구원과 사전 협의하여 결정한다.

ㅇ 부품과 관련된 작동 매뉴얼은 납품 시 제출하여야 하며, 한국생산기술연구원의 검사담당자의 확인을 받아야 한다.

8. 시운전

ㅇ 계약상대자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된 시험 점검을 위해 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합격 시는 즉각 결함부분을 시정하여 재시행하여야 한다.

9. 보증

ㅇ 납품되는 모든 장비에 대하여 하자보증기간은 계약의 성격에 따라 납품 또는 검사검수 완료일로부터 12개월으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치 공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우 계약상대자는 한국생산기술연구원에서 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구를 하여야 한다.

ㅇ 하자보증기간 만료 후에도 계약상대자는 부품, 소모품, 기타 운용에 필요한 모든 부속장비 및 정비에 대한 한국생산기술연구원의 요구에 협의해야 한다.

10. 운용지원(AFTER SERVICE)

ㅇ 계약상대자는 제작 공급한 부품에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다.