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과 업 지 시 서

고분해능 이차이온질량분석기 전면 수리 과업 지시서

*적용장비 : SHRIMP (HR-SIMS)

2026. 6.

한 국 기 초 과 학 지 원 연 구 원

목 적

가. 한국기초과학지원연구원의 지구환경연구부가 운영하고 있는 주장비인 SHRIMP(HR-SIMS)의 정상 운영을 위해 해당 장비를 체계적으로 보수함으로써 장애발생 및 문제가 야기될 수 있는 사항을 구체화하여 연구시설의 활용 최적화하려 함

나. SHRIMP IIe의 일차이온빔 클리닝 및 align과 이차이온빔 점검을 통한 성능향상과 현재 발생하고 있는 노이즈를 해결을 하고자 함

2. 개 요

가. 건 명 : SHRIMP(HR-SIMS) 보수

나. 위 치 : 충북 청원군 오창읍 연구단지로 162 202동

다. 사업기간 : 8월 20일 이내

라. 대상시설물 : 한국기초과학지원연구원 오창센터 슈림프동 111호 SHRIMP

3. 보수 범위

가. SHRIMP IIe operation and maintenance service

○ 장비상태 점검 및 수리/교체 (7~10일 소요)

○ Retuning of instrument:

- Optimising beam alignment

- RHVC tower 점검

HV power supply 점검 및 교체

Primary beam setting

○ Primary column cleaning

Primary column 분해 전 점검, 분해, cleaning, 조립, test

Differential pumping aperture 교체

Duoplasmatron part (cathod, cathod aperture, anode plate, orfice aperture, intermediate aperture) 점검 및 교체

- Primary Ion beam background 점검

- Oxygen gas 점검

- Duoplasmatron pressure gauge 설치 및 calibration

- Adjusting optical mirrors

- Primary Beam Monitor 점검 및 수리

Köhler aperture 교체

나. 검출기 시스템의 전면 점검

○ IPCS, MCHVC check and repair

- HV power supply 점검 및 교체

- Board in IPCS 점검 및 교체/수리

- 연결되는 line 점검 및 교체/제작

○ EM check

- ETP electron multiplier noise 점검 및 교체

- HV, ETP line in collector chamber 점검 및 교체/제작

- ETP gain 점검 및 최적화

- Collector position 최적화

- anomalously and randomly occurring high background 점검 및 수리

4. 용역 수행 자격

가. 해당 장비를 구매입찰을 통해 연구원에 납품한 업체

나. 해당 장비 제조사의 국내 법인 혹은 공식 대리점의 자격을 취득한 자

5. 작업의 절차

모든 작업의 순서는 문제가 발생되는 시점과 발생 전 징후현상이 있을시 작업을 개시한다. 작업 절차는 장비제조업체 및 납품업체(DTDC/신한과학)의 작업지시서 및 유무선상의 근거를 두며, 임의로 장비에 한하여 임의로 개조 및 수리는 원칙적으로 금한다. 작업이 수행된 후에는 해당 작업 결과 보고서를 작성을 통해 운영자에게 제출하고 향후 작업 수행 계획에 반영한다.

6. 기술지원체계

중대한 문제가 발생시 신한과학(DTDC)측의 Technical Support 창구 가 열리어 지속적인 업무협력관계를 유지하도록 한다.

7. 대금지급

대금은 보수가 끝난 후 지급한다.