捤獥 汤捯 물품 구매규격서
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순
품 명
한글
건식 플라즈마 식각기
영문
Dry Plasma Etcher
1
수량
1
단위
식
대표규격
50KHz, 1채널, 챔버 150x200x140 (mm)
10.1"Touch PC control, Power:200W
분류번호
(8자리)
23211198
수요부서
국립군산대학교
ICC특성화대학부
기계공학부
설치장소
(건물명등, 호실번호, 호실명칭 순)
공학2호관,9107호,
미세유체디바이스연구실
세부품명번호
(10자리)
2321119801
A. 특징(Feature)
축전결합 플라즈마 방식의 높은 플라즈마 밀도를 보장하며, 반도체 기판 표면처리 및 플라즈마 에칭, 접합과 오염물제거 등이 가능한 플라즈마 시스템.
컴팩트한 사이즈의 장비이지만 유량조절기(MFC)와 Pirani Gauge, 300W 이상 고출력 제너레이터 등의 구성요소들을 임베디드 시스템을 통해 정밀 조정.
10.1“ 대화면 터치스크린을 통해 쉽게 공정조건들을 입력하고 전반적인 공정상황 제어 및 모니터링이 가능하며, 사용자가 지정한 공정 Recipe대로 운용할 수 있어 교육용 연구장비로서 최적화.
랭뮤어 플라즈마 진단서를 포함하고 실제 측정이 가능하여 균일도와 재현성까지 보장.
플라즈마 진단 랭뮤어 프로브 연결 가능한 장비.
플라즈마 제너레이터 내부온도는 장비 운전프로그램 화면에서 실시간 디지털값으로 표시되며 사용자는 운전중에도 온도 변화를 지속적으로 모니터링 함.0
제너레이터 설정온도 이상 발생 시 자동알람 신호를 출력하고, 장비 보호를 위해 운전 중 자동 중지 기능
압력 Display 는 Torr 또는 Pascal 로 가능함.
B. 규격 및 사양(Specification)
진공챔버 내부크기 : 150 x 200 x 140mm (WxDxH) 이상
전극구조 : 축전결합형 (반응성이온식각과 플라즈마식각 모드 모두 지원하는 평행한 2중 전극)
전극간거리 : 70mm 이상
관람창 : 130mm 이상
Electrode chuck size : 110mm 이상
플라즈마 전원공급기 주파수 : 50kHz
출력 : 최대 300W 이상
플라즈마 이온밀도 : 1.5 x 1012 ~ 2.5 x 1012 (@50W ~ 200W) 이상
압력제어장치 : ≤Base Pressure 1.0 x 10-3 Torr (≤ 5min)
Vacuum Gauge : Atm ~ 1.0 x 10-4 Torr
진공펌프 펌핑 용량 : 238L/min@60Hz , 200L/min@50Hz 이상
진공펌프 최저도달압력 : 1.5 x 10-3 Torr
가스공급라인 : 최대 3 x 채널 이상
가스종류 : 산소
가스공급조절 : Mass Flow Controller
조절유량 : 최대 100sccm
퍼지라인과 벤트라인 : 각각 1채널 가지며 외부에서 Speed Controller 연결가능
컨트롤러 : 10.1인치 터치스크린 이상
진공펌프 터치스크린에서 전원제어
모든 공정요소 조정 및 실시간 비상감지 및 안내
레시피기반 전자동모드와 매뉴얼모드
파워제너레이터 내부온도센서와 장비제어프로그램간의 직접연동
메인시스템 외관크기 테이블맞춤 : 390mm x 555mm x 610mm (WxDXH) 이하
C. 악세사리(Accessory)
메인 플라즈마 시스템 x 1세트
진공펌프 x 1세트
펌프와 시스템 연결 및 피팅 부품 x 1세트
랭뮤어 플라즈마 진단서 x 1부
매뉴얼북 x 1권 ( 국문, 영문 )
샘플트레이 x 1세트
전원케이블 x 1개
오일미스트트랩 x 1개
D. Optional Acc or Recomended S/P (선택부속 또는 추천부속품)
Vacuum Oil (Fomblin)
유량 스피드 컨트롤러
건식 펌프
E. 기타조건(Remarks)
장비의 무상 보증 기간은 설치완료일로부터 3년
장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행
수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치
기타 규격문의는 담당자에게 문의
납풒기간: 계약 후 30일 이내
규격서에 정한 규격과 동등하거나 그 이상의 사양이어야 한다.
※ 규격 문의 - 요구 교수: 이종완 연락처: ☎ 063-469-4715