[목포대학교] 국립목포대학교 웨이퍼증착적층기 규격가격 동시 입찰

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웨이퍼 증착 적층기

제안 요청서(RFP)

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2026. 07.

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반도체공학과

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1. 일반사항 湯湷

가. 본 지침은 “2026년 호남권 반도체공동연구소 구축 사업”에 참여하고자 하는 업체가 제출할 입찰서 작성에 관한 사항을 규정하는데 그 목적이 있다.

나. 입찰서는 장비를 납품하고자 하는 적격업체 선정을 위한 자료이므로 본 지침서에 따라 실제현황을 근거로 실현가능하고 구체적인 기술제안서 및 가격입찰서를 제출하여야 한다.

다. 입찰서 작성 시 유의사항

- 모든 서류는 한글로 작성하는 것을 원칙으로 하되 필요시 영문을 사용할 수 있음.

- 문서양식은 워드프로세서(아래한글2002이상 또는 MS-Word)을 사용하여 작성하며, 서식을 이용하여 작성되는 관련서류는 첨부된 서식을 이용하여 작성하여야 함. 첨부된 서식은 발주자가 승인하지 않은 조건들에 대해서 변경이 허용되지 않음.

라. 입찰서의 내용을 고의로 허위기재 하였을 경우 입찰 무효 처리되며, 향후 발주자가 발주하는 입찰참여 시 불이익 처분을 받을 수 있음.

마. 입찰서 제출

- 제출기한 : 입찰공고문 참조

- 제출장소 : 입찰공고문 참조

- 제출방법 : 입찰공고문 참조

2. 구매품목 개요

가. 웨이퍼 증착 적층기는 열 또는 플라즈마 열원을 이용하여 전구체를 분해, 원자단위의 박막을 형성하는 장비로 반도체에서 미세 박막을 증착하여 적층하는데 사용함.

나. 본 장비는 열을 이용하여 여러 원자층을 증착, 적층하는 장비로 시편이 들어갈 수 있는 챔버, 전구체가 연결된 라인으로 구성되어 있으며 진공상태를 유지하기 위한 진공시스템으로 구현되어 있음.

다. 본 장비는 효과적이고 정밀한 공정을 위해서 자동화가 필요함.

라. 모든 센서(안전센서 포함)는 국제표준규격에서 정하는 검교정을 실시하고 해당 성적서를 첨부해야 함.

라. 입찰자는 규격서에서 제시하는 장비의 성능을 입증할 수 있는 기술검토 자료로 데이터 파일과 함께 인쇄된 형태의 판재 가공 성능 지표 및 주장비들에 대한 상세도면 등 관련된 모든 기술 자료를 제출해야 함.

마. 이 장비는 국립목포대학교 도림캠퍼스 의생명과학대학 1호관에 위치한 반도체공학과(학과장 송정훈)의 연구실 (C2129호) 내부에 설치되어야 함.

3. 구매요구사항

가. 진공챔버모듈

- 알루미늄 재질 챔버, 스테이지 히터

- 기판 크기는 6인치, 스테이지 최대온도 350℃

- 플라즈마 모드로 최소의 개조로 변경 가능하도록 설계 필요

- 플라즈마 모드로 업그레이드 비용 및 개조 방법 제시

나. 리드모듈

- 알루미늄 재질 리드, 금속 재질 안전커버

다. 가스 및 전구체 캐니스터유닛

- PT Sensor, Regulator, Gas line 등

- MFC & 뉴매틱 밸브 등

- 버블러 캐니스터, 캐니스터용 히터, 뉴매틱 밸브 등(캐니스터용 히터는 최대 150℃ 까지 가열 가능해야함)

- 셀프 이베이퍼레이션 캐니스터, 캐니스터용 쿨러, 뉴매틱 밸브 등(캐니스터용 쿨러는 최소 10℃ 까지 냉각 가능해야함)

- 전구체 캐니스터 4개 이상(가열 가능 2set, 냉각가능 2set, 향후 가열, 냉각 변경 가능해야함)

- 반응물 캐니스터 1개 이상

- 외부 반응가스로 오존 공급라dls

라. 프레임 모듈

- 알루미늄 프로파일 프레임, 판금류 플레이트

- 뉴매틱 밸브용 솔레노이드 벨브

마. 펌핑 모듈

- 공정 펌핑 배관 및 배관 히터

- 진공용 밸브

바. 기술자료

- 운용자 운영정비법 (고장시 조치사항 포함)

- 기술자료 (도면 등)

- 관련 KS 규격 (최신 개정본)

사. 인증서류

- 한국산업안전공단 검사필증(국내산일 경우)

- CE인증서(수입제품일 경우)

4. 구매품목별 세부규격

※ 첨부1. 구매 규격서 참조

5. 제안서 제출 시 일반사항

가. 본 제안요청서는 목포대학교 반도체공학과 학과장 송정훈(이하 “학과장”이라 함)에 의해서 작성된 것임.

나. 본 제안요청서는 ‘웨어퍼 증착 적층기’에 대한 설계, 제작, 시험 및 검사, 납품, 시운전, 사용자 교육 등에 대하여 적용함.

다. 본 장비는 계약 후 150일 이내에 수요자가 지정한 장소에 납품하여야 하며, 천재지변 등 특정 사유로 동 기일 내에 납품이 어려운 경우에는 학과장과 사전에 협의한 경우에만 납품기한을 연기할 수 있음.

라. 본 제안요청서 3항의 “구매요구사항”과 4항의 “구매품목별 세부규격”에 본 구매 장비의 성능 및 설계 고려사항에 대한 기준이 명기되어 있음.

마. 위의 ‘라’항에 명기되지 않은 사양에 대하여는 제작 전에 학과장과 협의한 후에 제작하여야 함. 만일, 협의 없이 낙찰자의 임의 제작으로 발생되는 모든 사항에 대하여는 낙찰자의 책임으로 함.

바. 제안요청서와 장비 세부 규격서에 기술된 내용 및 사양이 상이한 경우 제안요청서의 내용 및 사양을 우선으로 고려하여야 함.

사. 본 제안요청서에 기술되지 않은 사항 또는 불명확하다고 판단되는 사항에 대하여는 입찰 전에 본 학과장의 해석 및 의견을 확인하여야 하고 계약 후에는 학과장의 해석에 대하여 어떠한 이의 없이 따라야 함.

아. 본 구매 장비의 성능은 규격서와 일치하도록 보증되어야 하며 검수 후 1년 이상 품질보증을 하여야 함.

자. 제출된 공문, 서류, 제안서는 일체 반환하지 않으며 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 입찰자의 부담으로 함.

6. 사용 언어 및 단위

가. 제안서에 사용하는 언어는 한국어 사용을 원칙으로 하되, 영문 사용도 가능함.

나. 모든 서류의 기술규격, 설계도면의 치수, 용량 및 기타 단위는 반드시 SI 단위계를 적용하고, 보조적으로 MKS 단위계를 사용할 수 있음.

다. 사용규격은 제안요청서에 규정되지 않는 한 한국산업규격(KS)을 기준 함.

7. 제안서 작성 시 포함사항 및 유의사항

가. 입찰자는 입찰시 기술검토에 필요한 아래의 내용이 포함된 자료를 제출하여야 함.

1) 제안 목적, 내용, 범위를 명확히 기술하여 작성한 제안서

2) 구매품목별 장비규격 요약서

3) 장비의 세부규격과 주요기능 설명서 및 관련자료

4) 장비 설치도면 및 시방서

5) 품질관리에 따른 요구조건 사항

- 입찰자는 납품 고객 리스트 중 유사장비 납품실적을 제출하되, 납품실적에는 납품처 및 고객의 이름과 장비의 유형, 성능 등을 포함하여야 함.

- 입찰자는 제안 장비와 관련된 지식재산권을 보유 시 제출해야 함.

- 입찰자는 서비스 지원 계획을 제출해야 하며, 직접 고용한 서비스 직원을 운용하거나 국내에 숙련된 엔지니어를 운용해야 함.

6) 품질관리에 따른 인증서 요구조건 사항

- 입찰자는 ISO 품질규격에 따라 식별이 가능하고 서비스 및 제조 품질을 보증할 수 있는 품질관리 계획을 제출해야 함.

- 입찰자는 ISO 표준에 의한 품질관리 여부를 판단할 수 있는 증빙서류(ISO 9001, 14001 인증서 등)를 제출하여 함.

7) 장비 운용 및 시험에 필요한 전용 및 범용 S/W 목록과 기능설명

8) 계약이행계획서(설계, 제작, 운반, 설치, 시운전 등의 예정공정표)

9) 사용자 교육훈련 계획서

10) 장비의 제품보증 관련 사항 및 유지보수 조건

11) 입찰자가 공급 가능한 예비부품 명세서

12) 입찰자는 입찰 제안서를 검토하기 위해 필요한 모든 기술 데이터, 도면, 성능 곡선 및 브로셔, 주요장치의 각 부품에 대한 설명서 등 세부 사항(관련문서)을 제출

13) 기술제안서 및 제안서 첨부서류는 다음과 같이 제출

ྠ Ā - 기술제안서

ྠ Ā - 첨부서류

- 증빙서류

- 기타서류

14) 기타 기술제안서 평가항목 및 배점표의 평가 항목에 해당하는 내용

15) 입찰자는 제시된 구매규격서 이상의 고사양 또는 부가 시험장치를 추가할 수 있음. 단, 제시된 성능 이상 확보되어야 하며, 사전에 학과장과 협의하여야 함.

나. 기술제안서 내용이 임의적으로 작성되었거나 사실과 다르게 작성된 경우 본 입찰에서 제외될 수 있음.

다. 입찰자는 본 장비의 사용조건, 규격 등 제작조건을 충분히 검토하여 학과장과 협의한 후에 학과장의 요구에 맞게 설계 및 제작에 임하여야 함.

라. 설계 및 제작 시에는 사용하기 편리하고 안전하여야 하며, 점검, 보수, 수리, 부품교환 등이 용이하도록 설계하며 해당 설치장소에 적절히 배치하여야 함.

마. 특별한 사유로 인하여 설계변경이 필요한 경우에는 그 사유에 대하여 사전에 학과장과 협의를 거친 후 변경 내용을 서면으로 제출한 뒤 변경을 하여야 함.

바. ‘마’항의 절차를 거치지 않은 낙찰자의 설계변경 건에 대해서는 낙찰자가 모든 책임을 져야 함.

사. ‘바’항의 사항이 발생한 경우에 학과장은 필요시 해당 건에 대하여 낙찰자에게 설계변경 이전으로 원상복구 명령을 내릴 수 있으며 원상복구에 소요되는 모든 경비는 낙찰자가 부담함.

아. 제안서 평가는 서면으로 진행되며, 필요할 경우 입찰참가자는 지정된 날짜에 기술제안서 내용에 대하여 평가위원회를 상대로 발표회를 수행하여야 함.

자. 제안서는 A4양식을 기준으로 작성하되 페이지별로 번호를 반드시 부여해야 함.

차. 제안서의 제출방법은 온라인(전자문서)을 통해 제출

8. 낙찰자 선정 방법

가. 입찰은 제한경쟁입찰로 하며 낙찰자 선정은 규격·가격동시입찰에 의한 계약을 통해 선정함.

나. 100점을 기준으로 기술평가 85점 이상 점수를 받은 자를 대상으로 개찰을 실시하여 예가 내 최저가로 입찰에 참가한 업체를 낙찰자로 선정함.

9. 기술제안서 평가 방법 및 기준

가. 기술능력평가점수 합산결과 소수점이하의 숫자가 있는 경우에는 소수점 둘째자리에서 반올림하여 사용함.

나. 기술제안서 및 기술제안서 발표회의 기술능력평가는 학과장이 소속한 기관에서 외부기관의 유사 업종에 근무하는 5명 이상의 전문평가위원을 선정하여 실시함.

다. 기술능력평가점수 평가양식을 이용하여 기술제안서 발표회에서 평가위원들이 개별 평가함.

라. 기술능력평가는 최고점수와 최저점수를 제외한 평가위원들의 점수를 합산하여 산술평균한 점수로 함.

마. 기술제안서 발표회 세부일정은 추후 개별통보 함.

바. 기술제안서 평가항목 및 배점 기준은 첨부된 “배점표”를 참조할 것.

10. 가격제안서 평가방법 및 기준

가. [국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령] 18조 3항에 따라 기술과 가격입찰을 동시에 실시함.

나. [조달청 내자구매업무 처리규정]의 규격·가격동시입찰에 의한 계약체결기준에서 현행규정에 따라 평가를 함.

11. 낙찰자의 의무

가. 낙찰자는 장비의 설계, 제작, 시험 및 검사(검교정 포함), 설치 및 시운전 등의 전반에 걸친 책임을 져야 하며 본 입찰 장비가 정상 작동될 수 있도록 하여야 함.

나. 낙찰자는 장비의 상세설계 후 보고회를 개최하여 상세설계 결과에 대하여 반드시 발주처의 승인을 득한 후 제작을 하여야 함. 또한 발주처가 필요하다고 판단하여 요청 시 관련 보고 자료 제공 및 보고회를 개최하여야 함.

다. 본 장비의 정상적인 운영을 위하여 필요한 부분이 제안요청서에 누락 또는 생략되었을 경우라도 낙찰자는 이를 무상으로 공급하여야 함.

라. 낙찰자가 본 제안요청서에 의해 설계된 도면을 제출하였거나 또는 제작 완료된 장비가 검사에 합격되었다 하더라도 하자 등 문제점이 발생할 경우에 이에 대한 모든 책임은 낙찰자에게 있음.

마. 낙찰자는 (4)항의 하자 등 문제점이 발생하지 않도록 제안서 작성 시 충분한 기술적 검토를 수행하여야 함.

바. 본 장비를 설계, 제작, 납품함에 있어 특허, 실용신안, 저작권 등의 지적재산권 침해 등과 관련되는 모든 권리상의 문제에 대한 책임은 낙찰자에게 있음.

12. 계약 후 제출자료(계약 후 30일 이내 제출)

가. 낙찰 장비 일반도면 및 상세 부품 조립도와 주요 부품도면

나. 설계, 제작, 시험, 시운전 등을 포함한 상세공정표 등 세부계획

다. 기타 학과장이 필요하다고 요구하는 자료

13. 납품 시 제출자료 (납품과 동시에 제출)

가. 수정된 최종 상세 기술규격서

나. 장비 품목별 사용설명서(조작취급, 회로도, 도면, Flow chart, 보수 및 점검요령 등)

다. 시운전 결과보고서 (검수 후 제출)

라. 장비 품목별 사용설명서

마. 장비의 시험 및 검사내용, 검사방법 등에 관한 자료

바. 장비의 시험 및 검사 완료 후 시험 및 검사 성적서

사. 기타 학과장이 필요하다고 요구하는 자료(보증기간 중에는 즉시 제공하여야 하며 보증기간 이후에는 가능한 범위에 한하여 즉시 제공하여야함)

14. 명판표시와 라벨처리

가. 장비의 적정위치에 파손, 분실, 회손 등이 되지 않는 명판 혹은 라벨이어야 함.

나. 명판에 들어가야 할 내용: 시험장비의 명칭, 제작일자, 제작회사명(주소, 전화번호 등), 안전표시, 제품의 주요사양 등

다. 각각의 신호선 및 유압호스 양단에는 라벨튜브를 부착하여 사용처, 용량 등을 표기하여야 함.

15. 장비의 설치 및 시운전 검사와 사용자교육

가. 제작이 완료된 장비는 납품 전 혹은 납품할 때 학과장의 확인을 받아야 함.

나. 학과장은 제작이 완료된 장비가 계약시 낙찰자가 제출한 사양서 및 도면과 일치되지 않거나 결함이 있다고 판단될 경우에 검사를 거절할 수 있음.

다. 낙찰자는 사용된 주요부품에 대해서 품질 또는 시험성적서를 제출하여야 하며 시험 성적서 등의 발급비용 일체는 낙찰자가 부담하여야 함.

라. 낙찰자로부터 본 장비의 인수는 설치, 시운전, 사용자 교육이 완료된 후 학과장은 약 4주 정도의 최종 시험운전을 실시한 후에 장비에 하자가 없을 경우에 한함.

마. 낙찰자는 학과장이 요구하는 장소에 시스템을 설치 완료하고 시운전 및 사용자 교육 등을 실시하여야 함.

바. 낙찰자는 납품하는 각 부속장치들의 성능 및 정확도를 보장할 수 있어야 함.

사. 낙찰자는 시운전에 필요한 모든 사항을 준비한 후 시운전 계획서를 제출하고 학과장 입회하에 시운전을 시행하여야 함.

아. 시운전시에 이상증상 및 장비결함이 발생할 경우 낙찰자는 즉각 해당 이상증상 및 결함을 무상으로 시정한 후 다시 시운전계획을 수립하여 학과장의 입회하에 시운전을 실시하여야 함.

자. 본 입찰 장비의 시운전 완료 후 학과장을 대상으로 1주일 이상의 교육을 실시하여야 한다. 장비의 조작 및 작동방법, 보수․점검요령 등이 기재된 사용설명서를 교육 전 제출한 후 교육훈련을 실시하여야 함.

16. 기술지원 및 업그레이드

가. 낙찰자는 본 장비의 사용에 대한 교육을 무상으로 충분히 실시하여야 함.

나. 시스템 운용 중 학과장의 요구가 있을 시에는 원활한 기술지원이 가능하여야 함.

다. 향후 시스템의 업그레이드가 용이한 제품으로 구성되어야 함.

라. 계약기간 중 소프트웨어의 무상 업그레이드가 가능해야 하며, 계약종료 후에도 1회 이상 무상업그레이드가 가능하여야 함.

기술제안서 평가항목 및 배점표

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구분

항목

평가요소

채점

항목별 배점

사업수행기술

(60)

규격 만족도 및 우수성

(제어) 정밀제어 – 고품질 확보

(제어) 생산성 향상 – 작업속도 up

(제어) 공정의 자동화 및 효율성

(기계) 유지 보수의 효율성

(기계) 작업 중 발생 위험요소로부터 안전성 확보

(기계) 에너지 절약 및 친환경

사업수행계획

(15)

제안요청의 이해도 및 타당성

제안 사업에 대한 정확한 이해도

제공자료(근거자료)의 객관성 및 만족도

품질보증

품질보증계획의 적정성 및 ISO표준에 의한 품질 관리 여부

기술지원 및 사후관리

(10)

교육훈련 및 유지보수 계획

기술지원과 교육훈련 계획의 우수성 / 시범운영 및 무상 유지보수 기간과 유지보수 계획의 만족도

구축 장비 및 관련 기술분야의 국내 기술지원 인력 보유 정도

시스템 공급 계획

설계, 제작, 설치기간 등 공급계획의 적합성

구축 후 작업공구, 예비부품 등의 제공 정도

사업수행능력

(15)

수행능력

동등 이상 수준의 시스템(HW, SW) 납품 실적

경영상태

신용평가등급에 근거한 업체의 재무안정도

기술제안서 평가기준

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평가부문

평가항목

평가기준

평가요소

배점

사업

수행

기술

(60)

과업지시서 요구 성능 만족도 및

우수성

추가제시

사항

정밀제어 - 고품질 확보

박막 증창 균일도

생산성 향상 – 공정 시간

샘플로딩 후 1cycle 당 시간

공정의 자동화 및 효율성

시료 삽입 후 공정의 자동화

유지 보수의 효율성

1) 소모성 재료의 수명, 가격 및 수급상황

2) 소모성 재료의 자가 교체 가능성

작업 중 발생 위험요소로부터 안전성 확보

비상시 자동 제어 장치

에너지 절약 및 친환경

전력 소비 및 내구성

사업

수행

계획

(15)

제안요청의 이해도 및 타당성

- 본 사업의 특성 및 목표에 대한 전반적인 이해도와 의지

제안 사업에 대한 정확한 이해도

- 제시된 각종 자료 및 수치에 대한 신뢰성 및 객관성

제공자료(근거자료)의 객관성 및 만족도

품질보증

- 제시된 품질보증 방안이 해당 사업의 수행에 적합한지, 업체에서 생산되는 장비들이 국제 ISO표준에 의해 품질관리 된 제품인지에 대한 제시여부 및 우수성

품질보증계획의 적정성 및 ISO 표준에 의한 품질 관리 여부

기술지원

및

사후관리

(10)

교육훈련 및 유지보수 계획

- 기술지원과 교육훈련 계획, 시험운영 방법, 하자(유지)보수, 계획, 접근용이성, 신속성

기술지원, 교육훈련, 시범운영 및 무상 유지보수 기간과 유지보수 계획의 만족도

- 신속한 유지보수 및 대응을 위하여 국내 기술지원 인력 보유 여부와 조직의 우수성

구축 장비 및 관련 기술분야의 국내 기술지원 인력 보유 정도

시스템 공급 계획

- 장비의 제작, 기간내 설치, 시범운영등 본 장비의 구축에 있어 전반적인 계획 제시여부 및 우수성

설계, 제작, 설치기간 등 공급계획의 적합성

- 구축이후 정상 가동을 위하여 중요한 예비부품/부속품 및 작업공구 등의 제공여부와 우수성

구축 후 작업공구, 예비부품 등의 제공 정도

사업

수행

능력

(15)

수행능력

① 평가기준 별도 제시

유사장비 납품 및 제작 건수

경영상태

② 평가기준 별도 제시

신용평가 등급에 근거한 업체의 재무안정도

합계

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① 유사장비 납품 및 제작 건수(기준 점수 10점)

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실적

5건 이상

4건 이상

3건 이상

2건 이상

1건 이상

실적 없음

점수

※ 유사장비 인정 범위: 동등 이상 원자층증착기 납품 실적증명서 제출

※ 해당 유사물품규격에 대하여 입찰공고일 기준 10년간 국내외 공급실적 증명을 한 경우에만 인정

※ 위 사항들에 대하여 실적 증명원 또는 납품 증명서 등의 증빙 서류 제출

② 신용평가등급(기준점수 5점)

◦ 신용평가등급확인서 등급을 점수화

◦ 외국 입찰자/낙찰자는 D&B사를 통하여 신용평가 등급을 평가

◦ 신용정보의 이용 및 보호에 관한법률 제4조제4항 제1호 또는 제4호의 업무를 영위하는 신용정보업자가 입찰공고일 이전 가장 최근에 평가한 유효기간 내 회사채(또는 기업어음)에 대한 신용평가등급 또는 기업신용평가등급(위의 신용정보업자가 신용평가등급, 등급 평가일 또는 등급 유효기간 등을 명시하여 작성한 ‘신용평가등급 확인서’)을 기준으로 다음의 표에 의하여 평가

氠瑢

회사채에 대한 신용평가등급

기업어음에대한 신용평가등급

기업신용평가 등급

D&B사

신용평가등급

배 점

AAA

AAA(회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급)

AA+, AA0, AA-

AA+, AA0, AA-(회사채에 대한 신용평가등급 AA+, AA0, AA-에 준하는 등급)

A+

A2+

A+(회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급)

4.5

A20

A0(회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급)

A-

A2-

A-(회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급)

BBB+

A3+

BBB+(회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급)

BBB0

A30

BBB0(회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급)

BBB-

A3-

BBB-(회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급)

BB+, BB0

B+

BB+, BB0(회사채에 대한 신용평가등급 BB+, BB0에 준하는 등급)

3.5

BB-

BB-(회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급)

B+, B0, B-

B-

B+, B0, B-(회사채에 대한 신용평가등급 B+, B0, B-에 준하는 등급)

CCC+ 이하

C 이하

CCC+ 이하(회사채에 대한 신용평가등급 CCC+에 준하는 등급)

氠瑢

① 평가대상 업체가 ‘신용평가등급확인서’를 제출하지 않은 경우에는 최저점수로 평가

② 합병한 업체에 대하여는 합병 후 새로운 신용평가등급으로 평가하며, 그 전까지는 합병

대상 업체 중 가장 낮은 업체의 신용평가등급을 적용

구매규격서

□학과명: 반도체공학과 연락처 010-3447-5844 작성자: 황현준

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물품분류번호

품 명

(영 문)

규격

수량

단위

학과사무실

전화번호

2321118301

웨이퍼 증착 적층기

(Wafer vapor deposition equipment)

820(W)*930(D)*1700(H)

Set

061-

450-2326

○ 특징

1. 반도체 소자 제작을 위한 진공 증착 장비

2. 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 박막 트랜지스터를 제작하기 위한 원자층 증착 장비

○ 구성

1. 진공 챔버 모듈

ྠ Ā 1.1 알루미늄 재질 챔버, 스테이지 히터

2. 리드 모듈

ྠ Ā 2.1 알루미늄 재질 리드, 금속 재질 안전커버

3. 가스 공급 유닛

ྠ Ā 3.1 PT Sensor, Regulator, Gas Line 등

ྠ Ā 3.2 MFC & 뉴매틱 밸브 등

ྠ Ā 3.3 버블러 캐니스터, 캐니스터용 히터, 뉴매틱 밸브 등

ྠ Ā ྠ Ā ※ 캐니스터용 히터는 최대 150 ℃까지 가열 가능해야함

ྠ Ā 3.4 셀프 이베이퍼레이션 캐니스터, 캐니스터용 쿨러, 뉴매틱 밸브 등

ྠ Ā ྠ Ā ※ 캐니스터용 쿨러는 최소 10 ℃까지 냉각 가능해야함

4. 프레임 모듈

ྠ Ā 4.1 알루미늄 프로파일 프레임, 판금류 플레이트

ྠ Ā 4.2 뉴매틱 밸브용 솔레노이드 밸브

5. 펌핑 모듈

ྠ Ā 5.1 공정 펌핑 배관 및 배관 히터

ྠ Ā 5.2 진공용 밸브

6. 전장 및 제어

ྠ Ā 6.1 차단기, 히터컨트롤러 등

ྠ Ā 6.2 Control Program & Laptop Program

ྠ Ā

○ 하드웨어 규격

1. 기판 크기 : 6“(150 x 150 mm 사각형 포켓)

2. 기판 히터

ྠ Ā 2.1 기판 히터 재질 : 알루미늄

ྠ Ā 2.2 최대 온도 : 350℃

ྠ Ā 2.3 균일도 : 300℃±1% @ Ø150 Si Wafer 기준

3. 전구체 캐니스터

ྠ Ā 3.1 4개 이상

ྠ Ā ྠ Ā 3.1.1 가열 가능 캐니스터 2 Set

ྠ Ā ྠ Ā 3.1.2 냉각 가능 캐니스터 2 Set

ྠ Ā ྠ Ā ※ 향후 가열 → 냉각, 냉각 → 가열 변경가능해야함.

4, 반응물(Reactant) 캐니스터

ྠ Ā 4.1 1개 이상

ྠ Ā ྠ Ā 4.1.1 냉각 가능 캐니스터 1 Set

5. 외부 반응가스

ྠ Ā 5.1 오존 공급라인 1 Set

ྠ Ā ※ 향후 추가 가스라인 1 Set 추가 설치 가능해야함.

6. 플라즈마 모드 업그레이드

ྠ Ā 6.1 플라즈마 모드로 최소의 개조로 변경 가능하도록 설계 필요

ྠ Ā 6.2 플라즈마 모드로 업그레이드 비용 및 개조 방법 제시되어야 함.

ྠ Ā ྠ Ā 6.2.1 플라즈마 모드 사양

ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1) 플라즈마 방식 : CCP 방식

ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 2) 주파수 : 13.56 MHz

ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3) Power : 최대 600 W

ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 4) 전극 : 알루미늄 & 절연체

○ 시스템 성능(검수 조건)

1. 증착 성능

ྠ Ā 1.1 증착 성능 검수 조건

ྠ Ā ྠ Ā 1.1.1 물질 : 산화 알루미늄

ྠ Ā ྠ Ā 1.1.2 박막 균일도 : ≤ 2%

ྠ Ā ྠ Ā 1.1.3 굴절율 : ≥ 1.55

ྠ Ā 1.2 증착 가능 물질 : 3개 이상

ྠ Ā ྠ Ā 1.2.1 산화 알루미늄

ྠ Ā ྠ Ā 1.2.2 산화 하프늄

ྠ Ā ྠ Ā 1.2.3 산화 지르코늄

ྠ Ā ※ 물질 별 레퍼런스 레시피 제공 가능해야함.

2. 진공 성능

ྠ Ā 2.1 Base Pressure : ≤ 5E-3 Torr

ྠ Ā 2.2 ROR(Raise of Rate) : < 2mTorr/min @ 상온

3. 기판 히터 성능

ྠ Ā 3.1 최대 온도 : 350℃

ྠ Ā 3.2 균일도 : 300℃±1% @ Ø150 Si Wafer 기준

4. 유지보수 관련 장비 내 교체 리드 실드 및 챔버 실드 제공

5. 랩탑 컴퓨터 제어

ྠ Ā 5.1 모든 장비 제어는 랩탑 컴퓨터 내 프로그램을 통한 자동 제어

○ 특이사항

1. 운임 및 설치비 일체 포함

2. 제어 소프트웨어 포함

3. 보증기간: 검수 완료일로부터 하자보증 1년

ྠ Ā 3.1 장비 성능 검수는 산화알루미늄 박막 균일도 제공 조건

4. 장비 성능 테스트 1회 진행

5. 납품 기한: 발주 후 150일 이내

산출 내역서

氠瑢

순번

품목명

규격

단가

공급가액

비고

Chamber unit

13,100,000

동급 이상

1.1

Chamber module

Al Chamber & Stage heater

7,400,000

1ea

1.2

Gas Injector

Al Gas Injector & cover

3,900,000

1ea

1.3

Chamber shield

Al Shiled & pumping baffle

1,800,000

1ea

Lid Unit

1,800,000

동급 이상

2.1

Lid module

Al Lid body

1,500,000

1ea

2.2

Safety cover

SUS304-EP hole plate

300,000

1ea

Gas delivery unit

30,300,000

동급 이상

3.1

Gas supply module

PT sensor, Regulator, Gas line

2,000,000

2ea

3.2

MFC module

MFC, Pneumatic valve

1,000,000

7ea

3.3

Bubbler canister

Canister, Heater, Valve

4,300,000

3ea

3.4

Self Evaporation canister

Canister, Cooler, Valve

3,200,000

2ea

Frame Unit

9,900,000

동급 이상

4.1

Frame Module

Al Profile Frame & Plate

4,500,000

1ea

4.2

Solenoid Valve Module

Mainfold & Solenoid Valve

2,700,000

2ea

Pumping Unit

7,100,000

동급 이상

5.1

Process pumping Module

SUS304-EP & Guage

5,500,000

1ea

5.2

Vacuum vlave module

Pumping valve

1,600,000

1ea

전장 및 컨트롤 유닛 및 운송

19,600,000

6.1

전장

Heater controller, MCCB 등

9,000,000

1ea

컨트롤 프로그램

Lap top & program

10,000,000

1ea

운송 및 setup

운송, setup 교육

600,000

1ea

합계

89,980,000