구 매 규 격 서
| 품목번호 | 물품분류번호 | 품 명 | 단위 | 수량 |
| 1 | 4111540601 | 공초점 라만 현미경 (Confocal Raman Microscope) | 식 | 1 |
Ⅰ. 용도 및 특징
1. 진동 라만 스펙트럼(vibrational Raman spectrum)은 화학적·분자적 구조를 특징짓는 정보를
제공한다. 라만 산란(Raman scattering)은 레이저 광자가 시료 분자 또는 결정에 의해 산란
되면서 에너지를 잃는 비탄성 광산란(inelastic light scattering) 과정이며, 이때 손실되는 에
너지량은 분자 및 화학결합의 고유한 특성을 나타낸다. 이를 통해 기체, 액체, 고체 상태에
서 모호함 없이 매우 정밀한 물질 식별이 가능하다.
2. 응용 분야로는 전기화학(Electrochemistry), 고분자(polymer), 전자기 소재, 탄소나노튜브/나노
와이어(carbon nanotube/nanowire), 반도체, 법과학(forensic) 화학물질, 박막 특성 분석(thin
film characterization), 광물학(mineralogy), 안료, 제약, 생물학 등이 있다. 본 시스템은 밴드
갭(band gap) 및 불순물 함량, 재료 구조, 결정상(crystal phase), 결정화도(crystallinity), 다형
체 식별(polymorphology identification), 사슬 배향(chain orientation), 성분 분포, 코팅 및 반
도체 내부의 고유·유발 국부 응력(intrinsic and induced local stress)에 대한 정보를 제공한
다.
Ⅱ. 성능 및 규격
1. 분광계(Spectrometer);
아래 규격을 만족하는 스티그매틱 단일경로 분광기(stigmatic single pass spectrograph):
(1) 초고효율 250 mm 이상의 초점거리 분광기(스펙트로그래프 내 투과율 30% 초과).
- 파장 범위(Wavelength range): 200 nm ~ 2200 nm
- 지원 레이저(Lasers supported): 229 nm ~ 1064 nm
- 스펙트럼 분해능(Spectral resolution): 0.3 cm-1(FWHM)
- 안정성(Stability): ±0.01 cm-1 미만
- 저파수 차단점(Low wavenumber cut-off): 5 cm-1
- 고파수 차단점(High wavenumber cut-off): 30,000 cm-1
- 공간 분해능(측면)(Spatial resolution, lateral): 0.25 μm
- 공간 분해능(축방향)(Spatial resolution, axial): 1 μm 미만
- 검출기 크기(표준)(Detector size, standard): 1024 픽셀 × 256 픽셀
- 검출기 작동 온도(Detector operating temperature): -70°C
- 지원 레일리 필터(Rayleigh filters supported): 무제한
- 지원 레이저 수(Number of lasers supported): 무제한
(2) 레이저 라인으로부터 100 cm-1까지 리플 없는(ripple-free) 라만 스펙트럼 측정이 가능한, 자
동화된 키네마틱 마운트(kinematically mounted) 방식의 자석 부착형 532 nm 여기용 페어드
레일리 필터 세트(paired Rayleigh filter set) 탑재.
(3) 완전히 최적화된 광경로(beam path)로 레이저 스팟 크기(laser spot size)를 1~300 μm 범위
에서 연속 가변 가능(대물렌즈 및 여기 파장에 따라 상이).
(4) 스펙트럼 분해능 최적화를 위해 모터구동 및 키네마틱 마운트(kinematically mounted) 방식
의 가시광 렌즈 세트 탑재.
(5) 모터구동 슬릿(motorised slit)을 이용한 독자적인 연속 조절식 '이지 컨포칼(easy confocal)'
기능과 자동 신호 최적화 지원.
- 1 -
(6) 교체 가능한 자석식 키네마틱 마운트(magnetic kinematic mount)에 1800 lines/mm 듀얼 그
레이팅(dual grating)을 탑재한 인코더 피드백 제어(encoder feedback controlled) 그레이팅
스테이지.
(7) 단일 CCD 시야로 담을 수 있는 범위보다 넓은 파장 범위의 고해상도 스펙트럼을, 스펙트럼
간 '스티칭(stitching)' 없이 측정할 수 있는 독자적인 '확장 스캐닝(extended scanning)' 기능
지원. CCD 비닝(binning) 제어를 통해 스펙트럼 분해능 연속 가변 가능.
(8) 근적외선 강화형(near infrared enhanced) 딥 디플리션(deep depletion) Centrus CCD 어레이
검출기(1024 × 256 픽셀) 탑재. 펠티어(Peltier) 냉각 방식으로 -70°C까지 냉각되며, 별도의 물
또는 액체질소 공급이 불필요.
(9) 0.00005%에서 100%까지 16단계의 출력 조절이 가능한 모터구동 중성밀도필터(neutral
density filter) 탑재
2. 라이브트랙(LiveTrack) 실시간 시료 초점 자동화
분광계 하드웨어와 연동되는 라만 현미경 조립체(assembly)의 일부로서, 완전 자동화 및 자체검
증(self-validating) 기능을 갖춘 라만 모듈(Raman podule).
주요 기능은 다음과 같다:
(1) 라만 데이터 획득 및 백색광 비디오 관찰(white ligh t video viewing) 모드 모두에서 실시간
자동 라이브트랙(LiveTrack) 동적 초점조절 지원.
(2) 입력 레이저 출력의 자동 정렬 및 최적화.
(3) 빔 익스팬더 유닛(beam expander unit)의 핀홀을 통한 레이저 자동 전환 및 자동 정렬.
(4) 내장된 내부 기준 시료(internal reference sample)를 이용한 자체 검증.
(5) 네온 및 백색광 광원 을 이용한 내장형 자체 교정(self-calibration) 및 세기 보정(intensity
correction) 기능.
(6) 내장 비디오(integral video)를 이용한 레이저 및 백색광 시료 영상 간 모터구동 전환.
3. 키네마틱 시 스템 베이스플레이트(Kinematic system baseplate);
(1) 분광계, 현미경 및 최대 2대의 레이저를 지지하는 키네마틱 허니콤 베이스플레이트(kinematic
honeycomb baseplate).
4. 현미경(Microscope);
100× 대물렌즈 사용 시 2.0 μm 깊이 분해능 (depth resolution)의 공 초점 측정이 가능하도록 특수
개조된 연구용(Research Grade) 현미경. 구성품은 다음과 같다:
(1) 반사광 조명(reflected light illumination).
(2) 5×, 20×, 50×(LWD), 100× 대물렌즈.
(3) 접안렌즈 및 컬러 비디오 카메라가 장착된 쌍안경통(binocular head)
5. 인코더 기반 자 동화 모터구동 XYZ 매핑 스테이지(Encoded, automated motorised XYZ
mapping stage)
(1) 인코더 기반 고정밀 모터구동 XYZ 매핑 및 시료 스테이지.
(2) x, y 최소 스텝 크기 1 nm, 분해능 50 nm
(3) z축 스텝 크기 8 nm
(4) 높은 재현성(repeatability) 확보를 위한 인코더 피드백 제어(e ncoder feedback control).
(5) 이동범위(travel range): X 100 mm 초과, Y 70 mm 초 과.
(6) 트랙볼(trackball) 및 소프트웨어를 통한 제어 지원.
6. 레이저(Laser)
(1) 라이브트랙(Livetrack) 기능을 갖춘 레이저출력 , 플라즈마 필터 (plasma filter)를 이용한 공랭식(air
cooled), 레이저 베이스플레이트에 키네마틱 마운트(kinematic mounting) 방식으로 장착
- 2 -
(3) DPSS(532 nm) 레이저 – 사용시간 5,000시간 또는 설치일로부터 12개월 중 먼저 도달하는 시
점까지
7. 스펙트럼 검색 소프트웨어(Spectra searching software) 및 아래 라이브러리 포함 :
(1) 무기물(Inorganic)
(2) 고분자(Polymer)
8. Class IIIB 인클로저 암막 장치(enclosure)
9. 고속·고해상도 포인트 매핑(point mapping)
10. 컴퓨터(Computer)
(1) Intel Core i7 CPU/프로세서(Processor)
(2) 16GB RAM
(3) 2TB 솔리드 스테이트 드라이브(Solid State Drive, SSD)
(4) 무선 데스크탑 키보드 및 마우스
(5) 24인치 모니터(Monitor)
(6) Windows 11 Pro
11. 소프트웨어(Software)
(1) 기기 제어 및 데이터 수집용 WiRE 5 소프트웨어, 완전 통합된 데이터 분석·프레젠테이션 소프
트웨어, 백색광 영상 표시 및 캡처용 이미지 캡처 소프트웨어 포함.
Ⅲ. 기타
1. 설치 및 시운전(test run)은 인증된 엔지니어가 운용기관 현장에서 무상으로 실시한다.
2. 설치 완료 후 1년간 보증서비스(warranty)를 제공한다.
3. 납기(Delivery): 계약 체결 후 120일 이내
- 3 -