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COMMODITY DESCRIPTION
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품목번호
Item No.
세부품명번호(10자리)
Korean Government Commodity Classification Code(ten-digit)
품 명
Description
단위
Unit
수량
Q'ty
1
2399039801
직진성 강화 4인치 마그네트론 스퍼터링 시스템
System
1
Ⅰ. 용도(End-user's Use)
고진공 챔버와 3개의 마그네트론 건을 활용하여 4인치 웨이퍼에 금속 및 산화물 박막을 형성하는 장비로, 다중 전원을 통한 Co-Sputtering이 가능하여 수 ㎚에서 수 ㎛두께의 합금 및 다성분계 박막을 정밀하게 증착할 수 있다.
Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)
氠瑢
1. 주장비 및 보조장비(악세사리 포함)
1세트
1) MainChamber
1set
- Stainless Steel 304
- Circulator Type
- Water Wall Cooling
2) Main Pumping Module
1set
- Rotary Pump 600L/m 이상
1ea
- Turbo Molecular Pump 800l/s 이상
1ea
- Throttle Valve / Main Valve
1set
3) Main Gauge
1set
- Pirani (Atmosphere~10-3torr)
2ea
- Cold Cathode (10-2~ 10-9torr)
1ea
- Baratron (0.1 torr)
1ea
4) Substrate Module
1set
- Rotation Unit (Max. 20RPM)
- Heating Unit (Max. 500℃ on Heater)
- Z-Motion Unit (≤ 80mm T/S Distance)
5) Gas Supply Module
1set
- Ar _ MFC & Gas Line / Valve
1set
- O2 _ MFC & Gas Line / Valve
1set
- N2 _ MFC & Gas Line / Valve
1set
6) Tilt Type Cathode Unit
1set
- 3inch Magnetron Type Sputtering Gun
3set
- DC Power Supply 1kW
2set
- RF Blocking Filter
2set
- RF Power Supply 600W & Auto Matching Box
1set
7) Loadlock Chamber
1set
- Aluminum
- Rectangular Shape
8) Loadlock Pumping Module
1set
- Rotary Pump 600L/m 이상
9) Loadlock Gauge
1set
- Pirani (Atmosphere~10-3torr)
1ea
10) Substrate Transfer Module
1set
- Motor Use, Compact Robot Arm
- 2 * 8“ rectangular substrate transfer valve
Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)
1. 성능
1) 최대진공도 : <3.0E-7Torr within 1hour
2) 증착균일도 : <1%, 4inch wafer
3) 온도균일도 : <2%, 4inch wafer
4) 최대기판온도 : 500도
5) Reactive Sputter 제어 가능
6) Recipe 기반 자동화 공정
7) Loadlock Module 추가 가능할 것
2. 규격
1) Process Chamber for Insulator (1set)
- Stainless Steel 304 Chamber Body, Top Door (Lift)
- 3inch Magnetron Cathode and Shutter 3set
- Rotary Pump, Turbo Molecular Pump
Pirani Gauge, Cold Cathode Gauge, ATM Sensor
Baratron Gauge and ISO160 Throttle Valve
ISO160 Main Gate Valve
Z Motion with Heater Module, Stroke ±40mm 이상, Max 500도 이상
Rotation Module (5~20RPM)
Main Shutter Module
DC 1,000W power Supply and RF Blocking Filter 2set
RF 600W Power Supply and Auto Matching Box 1set
Gas Delivery Module Ar, O2, N2 Gas MFC and Valve
ＶI. 기타 조건(Remarks)
1. 제품 공급업체는 해당 시스템 구축에 관련된 기술지원 및 발주 전에 협의하고 설치에 만전을 기하여야 하며 운영 및 관리자를 대상으로 H/W 구축 및 운용 교육을 제공하여야 한다.
2. 안정적인 유지보수를 위해 제조사 물품공급 및 기술지원확약서를 계약시 제출해야 한다.
3. 하자담보책임기간: 설치 후 1년
4. 납품기한: 계약 후 120일 이내
5. 규격 동등이상 제품 납품가능