捤獥 汤捯 [별지 제3호 서식]<개정 2013.05.14.,2019.07.04.>

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상 세 규 격 서

요구 번호 :

품 명

국 문 :

근적외선·가시광·자외선 분광 타원편광기

영 문 :

NIR-vis-UV Spectroscopic Ellipsometry

구 분

상 세 명 세

수 량

비 고

1. Feature

자외선-근적외선 영역에서 박막 두께 및 광학상수(복소굴절률, 복소유전율)를 고정밀 측정하는 회전 보상자(Rotating Compensator, RCE) 방식의 분광 타원편광기. 어레이 검출기 분광법으로 수백 개 파장의 타원편광 데이터를 빠르게 동시 취득하며, 반도체 소재, 광학 코팅, 유전체·흡수 박막, 다층박막 및 이방성 물질의 연구개발에 적합한 장비.

(*사전에 담당자(김소연 조교수, 汫╨ soyeunk@dgist.ac.kr 汫h )와 자세한 사양, 크기, 커스텀 셋업(저온챔버·디바이스)과의 호환성 등이 반드시 선논의되어야 함.)

2. Specification

① Main System

- 파장 범위: 193 – 1000 nm (약 500개 파장 동시 측정, 표준)

- 검출기: UV-VIS CCD 어레이 + NIR InGaAs 포토다이오드 어레이

- 측정 시간: 전영역 스펙트럼 데이터 취득 속도 20 Hz 이상

- 분광 분해능: UV-VIS 1.6 nm / NIR 3.4 nm

- 타원편광 데이터 범위: Ψ 0 – 90°, Δ 0 – 360°

- 정확도(95%): Ψ 45° ± 0.075°, Δ 0° ± 0.05°

- 반복정밀도(typical): Ψ ±0.15°, Δ ±0.15°

- 두께 반복정밀도: δthickness < 0.002 nm (Si 위 2 nm native SiO2 기준)

- 입사각: 20 – 90° 자동 제어, 각도 정확도 ±0.02°, 각도 반복정밀도 < 0.005°

- 측정 가능 시료 두께: 15 mm 이상

- 광원: 중수소(Deuterium) 램프(UV) + 텅스텐-할로겐 램프(VIS-NIR)

- 표준 빔 크기: ~2 mm

- 수직형 베이스(VERTICAL BASE): 저온 측정용 챔버의 수직 방향 거치 호환

- 분석 소프트웨어: 자동 데이터 취득·교정, 다층박막 모델링, 표면 거칠기 및 그레이디드층 분석, B-spline 기반 광학상수(n, k) 추출과 내장 분산모델 라이브러리, 이방성(uniaxial/biaxial) 물질 모델링, generalized ellipsometry 및 Mueller matrix 분석, 전 파장 범위 두께·n·k 동시 피팅, 데이터 시각화 기능.

- Depolarization 및 Δ handedness 측정이 가능해야 함.

- Generalized ellipsometry(이방성·복굴절 박막 분석) 및 Mueller matrix 분석이 가능해야 함.

- 편광 투과 및 반사 강도 측정이 가능해야 함.

② Option

- 적외선 확장(IR Extension): 1005 – 1690 nm 스펙트럼 측정이 가능해야 함.

- 집광 프로브(Focusing Probe): 시료면 빔 직경 약 300 μm 정도로 집광 가능해야 함.

- 집광 프로브 등 추가 옵틱에 의한 측정값 변경(Δ 왜곡)을 보정하는 전문 보정이 가능해야 함.

- 교정 웨이퍼 세트(Calibration Wafer Set): SiO2/Si 박막 두께 2, 10, 25, 60, 1000 nm 5종 표준시료를 함께 제공해야 함.

- 다중 PC 분석 환경을 위한 seat 방식 라이선스 (최소 3 seat 이상)

- 무상 정기 및 추가 교육 제공

③ Accessory

-Standard Acc.

-Optional Acc.

-전원

④ 설치조건

- 우리원 지정장소 현장 설치

⑤ 납품기한

보증기간 등

납품기한 : 계약일로부터 180일 이내

보증기간 : 납품일로부터 1년간

2026 년 7 월 21 일

작 성 자

소 속 :

화학물리학과

성 명 :

김소연 漠杳

계정(과제)책임자

소 속 :

화학물리학과

성 명 :

김소연 漠杳