汤捯 捤獥
氠瑢 구매규격서 및 규격적합조사표(통합양식)
품 명(Description) : 고분해능 전계방출 주사전자현미경 /
High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope
구 매 규 격 서
[ COMMODITY DESCRIPTION ]
품목번호
Item No.
관세분류번호
HSK No.
정부물품분류번호
수량
Q'ty
단위
Unit
1
9012-10-1090
41111720
3
set
Ⅰ. 용도
1. 전자 광원용 FEG를 갖춘 고내구성 전계 방출 주사 전자 현미경은 나노 구조의 이미징 및 분석, 그리고 X선 분광법을 통한 시료의 화학적 조성 결정에 이상적입니다. 시편은 로드락을 통해 크고 높은 샘플을 삽입하도록 설계되었으며, EDS, EBSD 시스템 및 원클릭 이동 후방 산란 전자 검출기와 같은 다양한 분석 장치를 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
2. 본 FE-SEM은 EDS를 이용하여 시편의 정량적 및 정성적 원소 분석을 가능케 하고, 추가로 EBSD를 이용하여 재료의 결정 방위를 분석할 수 있습니다. 따라서, 본 시스템(FE-SEM)은 다양한 학문 분야의 연구에 필수적인 장비입니다.
3. ACL이 통합된 이 FE-SEM은 대형 프로브 전류 조건에서도 정밀하게 집속된 전자 프로브를 형성하여 EDS 및 EBSD 매핑에 대한 효과적인 분석 결과를 효율적으로 얻을 수 있습니다.
4. 낮은 가속도 전압에서 분해능을 향상시키기 위해 새로 개발된 Beam 감속 시스템을 사용하여 최대 2kV의 바이어스 전압을 적용할 수 있습니다.
5. 조작성을 높이기 위해서는 광학 이미지와 SEM 이미지 간의 원활한 이미지 전환이 포함되어야 합니다.
Ⅱ. 장비의 구성
1. 주 장비
1) FE-SEM 기본 유닛 Ν Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
2) 전자 검출기 시스템 ʼn Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
3) 전류 검출기 ܥ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
4) 조작, 관측 시스템 ɡ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
5) 진공 시스템 Ā ඬ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
6) 에너지 분산형 X선 분광기 시스템 ہ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
7) 전자 후방 산란 회절 분석 시스템 ʼn Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
2. 보조 장비
1) FE-SEM용 냉각수 공급장치 Ʃ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
2) FE-SEM용 자동전압조정장치 Ʃ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3 set
Ⅲ. 성능 및 규격
1. FE-SEM 기본 유닛
성능
(1) 이미지 분해능 : ԙ Ā ྠ Ā 0.7nm 보증 (20kV) 또는 이하
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1.3nm 보증 (1kV) 또는 이하 ॰ Ā ྠ Ā ྠ Ā
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 3.0nm (가속전압 15kV, 5nA, WD 10mm) 또는 이하
(2) 이미지 타입 : ँ Ā ྠ Ā 이차 전자 이미지
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 후방 산란 전자 이미지
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 이차 전자, 후방 산란 전자 혼합 이미지
(3) 프로브 전압 : ँ Ā ྠ Ā 0.01 ~ 30kV 또는 이상
(4) 프로브 전류 : ँ Ā ྠ Ā 1pA ~ 300nA (30kV) 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1pA ~ 100nA (5kV) 또는 이상
전자 광학 시스템
(1) 렌즈 컨트롤 방법
-. 새로운 전자 광학 컨트롤 시스템.
-. Aperture Angle control Lens 탑재
-. 전자총, 광학 동기화 시스템
(2) 전자총 : ̥ Ā ྠ Ā ྠ Ā 인렌즈 쇼트키 플러스 전계방사형 전자총
(3) 렌즈 시스템 :
-. 콘덴서 렌즈 (C.L): ഽ Ā 전자장 2 스테이지 어퍼쳐 컨트롤 렌즈 (ACL)
-. 대물 렌즈 (O.L): ý Ā ྠ Ā 하이브리드 렌즈 (전기장+전자장)
-. 대물 렌즈 어퍼쳐: അ Ā 클릭 스탑 방식, 4 스텝 또는 이상
-. 관측 모드: Ā ྠ Ā STD/ HL/ BD/ LDF/ Zero-mag 모드
챔버 & 시편 스테이지
1) 타입: Ā ྠ Ā ྠ Ā 컴퓨터 컨트롤 5축 모터 스테이지
2) 스테이지 이동 범위: m Ā ྠ Ā X : 70mm 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā Y : 50mm 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā Z : 41mm 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 틸팅 : -4˚ ~ +70˚ 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 로테이션 : 360˚ 무한 (모터 드라이브)
3) 시편 교환: m Ā ྠ Ā ྠ Ā 원터치 처킹 Airlock
ࢉ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 챔버 draw-out 오픈
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 아이솔레이션 밸브 : 자동 컨트롤
4) 스테이지 네비게이션 시스템
-. 수집 데이터 관리 및 시편 영역 확인 시스템.
-. Airlock 챔버 마운트 카메라에 의한 저배율 컬러 CCD 이미지.
-. 배율 조정에 의한 광학 이미지와 SEM 이미지의 자동 연계형 시스템.
5) 내부 챔버 뷰 카메라
-. 하이브리드 챔버 카메라: 스타팅 시 컬러 모드 및 조작 시 IR 스위칭
6) 바이어스 스테이지 (Beam deceleration 시스템)
-. 최대 바이어스 전압 : 2kV 또는 Boosting 방법
-. 최소 관측 조건: 20V 또는 이하
7) 시편 홀드: థ Ā 12.5mm/26mm/32mm/51mm 마운트 사용 가능
Ā
2. 전자 검출기 시스템
1) 상부 전자 검출기: m Ā 인 퀄럼 또는 인 렌즈 검출기
2) SE 검출기: ȥ Ā ྠ Ā 챔버 마운트 E-T 검출기
3) 후방산란 전자 검출기:
-. OL 하단 탑재 원클릭 자동 개폐식 검출기
-. 관측 가능 작동 거리 : 최소 2.0 mm 또는 이하
3. EBSD 분석용 전류 검출기
1) EBSD용 흡수 전류 측정기
2) EBSD용 프로브 전류 검출기
4. 조작, 관측 시스템
1) SEM 컨트롤 시스템 PC : ॹ Ā PC/AT 호환가능
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā RAM : 16GB 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā OS : Windows11 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 24 인치 LCD 모니터 또는 이상
2) 스캔, 디스플레이 모드 : ॕ Ā ྠ Ā 풀 프레임 디스플레이
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 실 배율 디스플레이
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 지정 영역 스캔
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā CF 스캔
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 듀얼 디스플레이
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 쿼드 분할 디스플레이 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 커스터마이징 GUI
3) 스캔 스피드 : థ Ā ྠ Ā ྠ Ā 스피드 선택 시스템
4) 자동 기능 : m Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 포커싱
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 astigmatism 교정
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 밝기 조정
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 gun 조정
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 빔 조정
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 Z축 포커싱
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 자동 스티그 중심 조정
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 코딩 미사용 자동 워크 플로우 시스템 (Neo Action)
5) 조작 컨트롤 방법
-. SEM 조작 시스템: ť Ā ྠ Ā ྠ Ā 연동 SEM GUI
-. 조작 패널: അ Ā ྠ Ā ྠ Ā 관측 조건 조절용 노브세트
-. 트랙볼: Ե Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā Z축 다이얼 컨트롤
5. 진공 시스템
1) Gun 챔버 & 중간 챔버
-. 이온 펌프에 의한 초 고진공 드라이 진공 시스템
2) 시편 챔버: m Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā TMP Dry 진공 시스템
3) 건식 질소 가스 커넥터 : ى Ā ྠ Ā 탑재. 자동 가스 스탑 안전 시스템
4) Ultimate 압력
-. 시편 챔버 : Ā ྠ Ā ྠ Ā 10-4 Pa order 이하
5) 진공 펌프 : น Ā ྠ Ā ྠ Ā 2 이온 펌프 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 터보 분자 펌프 또는 이상
Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā ྠ Ā 1 로터리 펌프 (포어라인 트랩) 또는 이상
6. 에너지 분산형 X선 분광기 시스템
1) EDS 검출기: Ā SDD 타입, LN2 free 검출기
2) 센서 사이즈: น Ā 65mm2 또는 이상
3) 에너지 분해능: Ā 127eV (Mn Ka) 또는 이하
4) 검출 범위: ɡ Ā ྠ Ā Be(4) ~ Cf(98) 또는 이상
5) 펄스 프로세서: Ā X4 펄스 프로세서 및 이미징 전자
6) 분석 소프트웨어: ى Ā 포인트, 영역, 라인 스캔, 매핑 EDS 분석
Ā ྠ Ā ྠ Ā Live chemical imaging
Ā ྠ Ā ྠ Ā Image registration
Ā ྠ Ā ྠ Ā Trumap
Ā ྠ Ā ྠ Ā AutoLock
Ā ྠ Ā ྠ Ā Quant Map
Ā ྠ Ā ྠ Ā Auto Phase Map
Ā ྠ Ā ྠ Ā Large Area Mapping
Ā ྠ Ā ྠ Ā Point Automation
Ā ྠ Ā ྠ Ā Match
7. 전자 후방 산란 회절 분석 시스템
1) 분해능: ɡ Ā 최대 1244 x 1024 또는 이상
2) 스피드: ࠽ Ā ྠ Ā >600 pps 또는 이상
3) 최대 감도: ɡ Ā >900 pps/nA 또는 이상
4) CMOS 센서: ຝ Ā EBSD 최적화 맞춤형 CMOS 센서
5) Distortion: ʅ Ā ྠ Ā < 1 픽셀 보증
6) 충돌 방지: ɡ Ā 근접 센서 충돌 방지 시스템
7) Insertion: ҍ Ā 완전 모터화, 고속 및 고 정밀 삽입/수축
8) 분석 소프트웨어: Phase ID
Ā ྠ Ā ྠ Ā EBSD mapping
Ā ྠ Ā ྠ Ā Reanalysis software for EBSD
ࢉ Ā ྠ Ā ྠ Ā Integrated Mapping (EBSD and EDS)
Ā ྠ Ā ྠ Ā Auto Lock
Ā ྠ Ā ྠ Ā TruPhase
Ā ྠ Ā ྠ Ā Colour FSD
Ā ྠ Ā ྠ Ā PseudoSymmetry
Ā ྠ Ā ྠ Ā HKL Steel
Ā ྠ Ā ྠ Ā Large Area Mapping ༠ Ā
Ā ྠ Ā ྠ Ā Synergy software (Integrating with EDS 시스템)
Ā ྠ Ā ྠ Ā TKD Map Navigator
Ā ྠ Ā ྠ Ā Offline License
8. FE-SEM용 냉각수 공급장치
1) 유량: థ Ā ྠ Ā ྠ Ā 0.5 ~ 1.1 L/min
2) 냉각수 온도: น Ā ྠ Ā 20±5℃
9. FE-SEM용 자동 전압 조정 장치
1) Phase : ܥ Ā ஸ Ā ྠ Ā 단상
2) Rating 전압 : ಅ Ā ஸ Ā 100V, AC, 50/60Hz
3) kVA rating : ํ Ā ඬ Ā 7.5kVA
Ⅳ. 기타 조건
1. 장비(SEM, EDS, EBSD)의 설치 작업은 제작사의 검증을 받은 동일한 사업장 소속의 구성원인 엔지니어에 의해 진행됩니다.
2. 보증 서비스는 제조사에 의한 설치일을 기준으로 24개월간 진행되며 전계 방사형 전자총의 보증수명은 36 개월 또는 이상입니다.
3. 장비에 대한 사용 연수는 제작사의 검정을 받은 엔지니어를 통해 설치시 무상으로 진행합니다.