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COMMODITY DESCRIPTION
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품목번호
Item No.
세부품명번호(10자리)
Korean Government Commodity Classification Code(ten-digit)
품 명
Description
단위
Unit
수량
Q'ty
1
2399039801
유기재료증착기
SET
1
Ⅰ. 용도(End-user's Use)
○ Parylene Coating System은 이량체 구조의 분말 원료를 기화시키고, 기화된 가스는 고열의 열분해기를 통하여 단량체 가스 형태로 화학적으로 분자 구조가 변환되고, 변환된 단량체 가스 입자가 냉각된 상태로 증착챔버 내부로 확산되면서 제품 표면에 성장하게 되고, 성장된 박막은 폴리머 형태로 제품 표면에 증착되는 장치입니다. Parylene 박막은 진공 기상 증착으로 핀홀과 기공이 없고, 인체에 무해하며, 제품 형상에 관계없이 수㎚~수십㎛까지 균일한 박막을 형성할 수 있습니다. 내절연성, 내화학성, 내수성, 윤활성, 내부식성을 요구하는 전자부품, 의료·바이오, 센서류, 방산·우주항공, 로봇, 반도체 공정 등 모든 산업 분야에 응용됩니다.
Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)
1. 증착 챔버
2. 진공 제어 장치
3. 증발 장치
4. 열분해 장치
5. 공정 제어 장치
Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)
1. 증착 챔버
- 기능: 용기 내부가 진공 상태로 유지되고, 제품 표면에 Parylene 박막을 성장시키는 역할
- 챔버 구조: 원통형 챔버
- 챔버 사이즈: 직경 300mm * 높이 300mm 이상
- 챔버 재질: SUS304 또는 SUS316
- 챔버 뷰 포터: 챔버 내부 확인용 투시창
- 진공 체결부: 원형 오링 Seal 채택
- 코팅용 지그: 원형 5단 (200mm 웨이퍼 안착 가능한 구조)
- 지그 회전 장치: 모터 일체형 회전 모듈
2. 진공 제어 장치
- 기능: Parylene Coating시 증착 챔버 내부의 진공을 형성시키고, Parylene 증착시에도 일정한 진공도를 유지시키는 역할
- 진공 펌프: 증착 챔버 내부의 진공을 형성시킴
* 장치 내부 부착형 직결식 로터리 펌프(장치 외부 노출형 불가)
- 진공 밸브: 진공 펌프와 증착 챔버 사이의 진공 제어
* 전기식 밸브
- 진공 해제 밸브: 증착 챔버 내부 진공을 대기압으로 해제시킴
* 전기식 밸브
- 진공 컨트롤러: 증착챔버 내부의 진공 측정 및 패럴린 공정 진공 제어
* 피라니 진공 컨트롤러 & 진공센서
- 콜드 트랩: Parylene 찌꺼기 포집 장치
* 냉각 온도 :-80℃이하
* Parylene 장치 본체와 분리형(장치 내부 고정형 불가) - 공간확보 목적
3. 증발 장치: Parylene 분말을 기화시키는 장치
- 증발 장치 구성: 증발기 챔버 + 증발기 도어
- 증발기 제어 온도: 0℃~180℃
- 증발기 도어 제어 온도: 0℃~180℃
- 최대 원료 사용량: 100g 이상
4. 열분해 장치: 증발 장치에서 기화된 Parylene 이량체 가스를 단량체(Monomer) 가스로 화학적으로 열분해 해주는 장치
- 열분해 장치 구성: 증발기 챔버 일체형 튜브 타입 – 챔버 하부 수직 연결 방식
- 열분해 제어 온도: 0℃~700℃
- 열분해 튜브 내부 오염 방지 독립 튜브: 내부 삽입 및 탈거 가능한 구조
5. 공정 제어 장치: Parylene Coating 공정을 제어하는 장치
- 제어 장치 구성: 전원스위치/비상정지스위치/터치패널(각 부위 제어 및 표시)
- 코팅 공정 제어 방식: 진공도 제어 방식 & 온도 제어 방식
* 진공도 제어 방식: 설정된 진공도에 맞게 일정하게 진공도가 유지되면서 Parylene Coating 공정이 진행됨
* 온도 제어 방식: 진공도에 관계없이 설정된 온도가 일정하게 유지되면서 Parylene Coating 공정이 진행됨
- 제어 화면 구성: 수동화면/자동화면/레서피화면/공정그래프화면/고장이력화면/공정데이타 출력화면
* 수동화면: 각 동작 부위별 개별 동작 가능한 화면
* 자동화면: 레서피에 저장된 데이터 값에 따라 자동으로 시작부터 종료까지 진행되는 화면
* 레서피화면: 자동공정 가능한 증발기, 열분해기 등의 공정 변수 값을 입력·저장하는 화면
* 공정그래프화면: 코팅 공정이 진행되는 온도, 진공도 등을 실시간으로 그래프로 나타내는 화면
* 고장이력화면: 코팅 장치 고장 발생시 고장 발생 부위를 표시하는 화면
* 공정데이타출력화면: Parylene 코팅 공정이 진행된 온도, 진공도 등의 값을 CSV 파일로 출력 가능한 화면(작업 공정 진행 상황 확인 기능)
Ⅳ. 기타 조건(Remarks)
Parylene C/ Parylene N 일본 원료 안정적 공급 가능할 것
진공 펌프는 EDWARDS Vacuum Pump 또는 동등이상의 제품을 사용할 것 (진공 펌프 내구성 확보 목적)
장치 입고전 유지보수 및 오브호올 교육 2회이상 실시할 것
(1회차: 장치 제작사내 납품전 교육, 2회차 : 장치 교내 입고후 교육)
4. 장치 셋업 완료 후 1년간 무상 보증 실시
5. 장치 고장시 수리전까지 장치 공급사에서 공정 지원 가능할 것
(무상 보증 기간내는 무료/ 보증기간 종료후에는 유료)
6. 납품기한: 계약 후 90일 이내
7. 하자담보책임기한: 설치 후 1년
8. 규격 동등이상 제품 납품가능